前开式晶圆传送盒FOUP
這是半導(dǎo)體制程中被使用來(lái)保護(hù)、運(yùn)送、并儲(chǔ)存晶圓的一種容器,其內(nèi)部可以容納25片的300mm晶圓,而其主要的組成元件為一個(gè)能容納25片晶圓的前開(kāi)式容器并有一個(gè)前開(kāi)式的門(mén)框?qū)K救萜鞯拈_(kāi)閉,是一種專(zhuān)屬于12吋(300mm)晶圓廠內(nèi)的自動(dòng)化傳送系統(tǒng)重要的傳載容器。
隨著晶圓尺寸、產(chǎn)量及單個(gè)晶圓成本逐漸增大,通過(guò)降低因不同工藝步驟產(chǎn)生的晶圓污染與損失而提高產(chǎn)量的壓力越來(lái)越它是一種專(zhuān)門(mén)的塑料外殼,設(shè)計(jì)用于在受控環(huán)境中安全可靠地固定硅片,并允許晶片在機(jī)器之間轉(zhuǎn)移以進(jìn)行處理或測(cè)量。
它最重要的功用是確保每25片的晶圓在它的保護(hù)下避免在每一臺(tái)生產(chǎn)機(jī)臺(tái)之間的傳送被外部環(huán)境中的微塵污染,進(jìn)而影響到良率。是先進(jìn)的12吋晶圓廠重要的生產(chǎn)工具?! ?/p>
每個(gè)FOUP都有各種連接板,銷(xiāo)和孔,以便FOUP位于裝載端口上,并由AMHS(自動(dòng)物料搬運(yùn)系統(tǒng))操縱。 FOUP也可能包含RF標(biāo)簽,允許讀者通過(guò)工具,AMHS等識(shí)別它們。
FOSB是Front Opening Shipping Box的首字母縮寫(xiě),用于在制造工廠之間轉(zhuǎn)移晶圓。
總結(jié)
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