這是半導(dǎo)體制程中被使用來(lái)保護(hù)、運(yùn)送、并儲(chǔ)存晶圓的一種容器，其內(nèi)部可以容納25片的300mm晶圓，而其主要的組成元件為一個(gè)能容納25片晶圓的前開(kāi)式容器并有一個(gè)前開(kāi)式的門(mén)框?qū)Ｋ救萜鞯拈_(kāi)閉，是一種專(zhuān)屬于12吋(300mm)晶圓廠內(nèi)的自動(dòng)化傳送系統(tǒng)重要的傳載容器。

隨著晶圓尺寸、產(chǎn)量及單個(gè)晶圓成本逐漸增大，通過(guò)降低因不同工藝步驟產(chǎn)生的晶圓污染與損失而提高產(chǎn)量的壓力越來(lái)越它是一種專(zhuān)門(mén)的塑料外殼，設(shè)計(jì)用于在受控環(huán)境中安全可靠地固定硅片，并允許晶片在機(jī)器之間轉(zhuǎn)移以進(jìn)行處理或測(cè)量。

它最重要的功用是確保每25片的晶圓在它的保護(hù)下避免在每一臺(tái)生產(chǎn)機(jī)臺(tái)之間的傳送被外部環(huán)境中的微塵污染，進(jìn)而影響到良率。是先進(jìn)的12吋晶圓廠重要的生產(chǎn)工具?！　?/p>

每個(gè)FOUP都有各種連接板，銷(xiāo)和孔，以便FOUP位于裝載端口上，并由AMHS（自動(dòng)物料搬運(yùn)系統(tǒng)）操縱。 FOUP也可能包含RF標(biāo)簽，允許讀者通過(guò)工具，AMHS等識(shí)別它們。
FOSB是Front Opening Shipping Box的首字母縮寫(xiě)，用于在制造工廠之間轉(zhuǎn)移晶圓。

總結(jié)

以上是生活随笔為你收集整理的前开式晶圆传送盒FOUP的全部?jī)?nèi)容，希望文章能夠幫你解決所遇到的問(wèn)題。

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