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1 月 7 日消息，晶洲裝備官方宣布，國(guó)產(chǎn)首臺(tái)精密掩模版（Fine Metal Mask, 簡(jiǎn)稱(chēng) FMM）INVAR 卷材工藝設(shè)備已于 1 月 6 日通過(guò)廠內(nèi)驗(yàn)收，發(fā)運(yùn)客戶端即將投入生產(chǎn)。

這是晶洲裝備自主研發(fā)生產(chǎn)的國(guó)內(nèi)首臺(tái) INVAR 卷材工藝設(shè)備。該設(shè)備集成脫脂、酸洗、減薄、清洗等多種單元，具備將基材厚度管理至 20μm 以內(nèi)水平，從而打破國(guó)外企業(yè)的壟斷，解決我國(guó) FMM 工藝裝備“卡脖子“的問(wèn)題。

查詢發(fā)現(xiàn)，F(xiàn)MM 是顯示產(chǎn)業(yè)中的重要因素，是 OLED 蒸鍍工藝中的核心零部件，其主要作用是生產(chǎn)過(guò)程中沉積 RGB 有機(jī)物質(zhì)形成像素。鑒于蒸鍍工藝中對(duì) FMM 材料熱膨脹性能的高要求，材質(zhì)常用因瓦合金，簡(jiǎn)稱(chēng)為 INVAR。

據(jù)介紹，目前 FMM 供應(yīng)一直被起步更早的日韓等海外制造商壟斷，且 INVAR 原材料受限于原產(chǎn)地貿(mào)易協(xié)議，中國(guó)大陸的 FMM 制造企業(yè)很難獲得 25μm 以下厚度基材，而高 PPI OLED 屏需要更精巧的孔，F(xiàn)MM 制造商需要獲得更薄的 Invar 原材，Invar 原材已然成為我國(guó) OLED 顯示行業(yè)發(fā)展的限制因素。

總結(jié)

以上是生活随笔為你收集整理的国产首台精密掩膜版 FMM 工艺设备现已出货的全部?jī)?nèi)容，希望文章能夠幫你解決所遇到的問(wèn)題。

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