2 月 11 日消息，據 TheElec 報道，韓國 EUV 設備制造商 ESOL 首席執行官 Kim Byung-gook 在接受采訪時表示，今年將推出其第二代 EUV（極紫外）設備原型。

KimByung-gook 說，該公司去年獲得了 350 億韓元（當前約 1.88 億元人民幣）的資金，其中大部分將用于研發。到目前為止，ESOL 已經在其第一代產品線中推出了四款產品。其中，EUV 掩模檢查設備和 EUV 薄膜透光率檢測機已經產生收入。

ESOL 是芯片薄膜制造商 FST 的子公司，由曾在三星芯片業務部門工作的 Kim Byung-gook 于 2018 年創立。

了解到，ESOL 主要開發 EUV 解決方案，專注于為 EUV 或極紫外光刻應用開發各種解決方案和設備。

其第一代產品線的另外兩款產品，即 EUV 相位反轉掩模機和用于光刻膠顯影的光刻機，也有望在今年產生收入。

ESOL 目前的四款產品中的主要產品是其薄膜透光率檢測設備，在該領域它至少要面臨兩個競爭對手。

EUV 掩模檢查設備稱為 SREM 330，擁有掃描反射 EUV 顯微鏡，還有稱為 FREM 或全場反射 EUV 顯微鏡的配套設備正在開發中。

同時，ESOL 公司 EUV 第二代陣容共有三款產品，其中一款將于今年推出。新設備將包括升級后的 EUV 掩模檢查設備，可以掃描掩模的整個表面，而不是像第一代機器那樣只掃描某些點。

總結

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