一、介紹

Hitachi

S-4800

場發射掃描電鏡采用了新型

ExB

式探測器和電子束減速功能

,

提高了圖象質

量

(15?kV

下分辨率

1?nm)

，

尤其是將低加速電壓下的圖象質量提高到了新的水平

(1?kV

下

1.4

nm)

；新型的透鏡系統，提高了高分辨模式、高速流模式、大工作距離模式、磁性樣品模式

等多種工作模式，使其能夠精確和清楚地捕捉最短暫的瞬間。

二、操作說明

1

．開機

(

1

)日常開機：打開

Display

的開關，

PC

自動開機進入用戶界面并自動運行

PC_SEM

程

序，以空口令登入。

(

2

)

完全關閉電源后開機：

接通配電盤電源

→

拔上

MAIN?Swith

開關

→

按一下

Reset

按鈕，

→

將

MAIN

控制面板上

EVAC?POWER

按至

ON

，

SC?EVAC

指示燈處于常綠狀態后，等半

小時

→

按下

Display

開關至

ON,?PC

自動開機進入用戶界面并自動運行

PC_SEM

程序，以

空口令登入。

2

．圖像觀察

(

1

)

裝入樣品

制樣

→

把樣品托裝入樣品座，并用標尺確定高度、旋緊

→

按

AIR

按鈕

→

將樣品座插在樣品

交換桿上，并鎖緊

→

將交換桿拉至盡頭卡緊，關閉交換室

→

按下

EVAC

按鈕

→

按下

OPEN

按鈕打開

MV-1

后，推進交換桿，旋轉樣品桿

UNLOCK

位置后拉出交換桿

→

按下

CLOSE

按鈕。

(

2

)

圖像觀察及保存

SC

真空恢復正常后(顯示為

L?E-3

)

→

選擇適當的加速電壓(

Vacc

)

→

加高壓

→

在低倍、

TV

模式下將圖像調節清楚

→

聚焦、消象散

→Slow3

確認圖像質量

→

點擊

Capture

按鈕拍照

→

點擊右下方

Save

按鈕

→

選擇保存位置、使用者及樣品信息，保存。

(

3

)

結束觀察

總結

以上是生活随笔為你收集整理的s4800扫描电镜的CSS3_日立S4800扫描电镜中文使用手册的全部內容，希望文章能夠幫你解決所遇到的問題。

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