集成電路芯片及其制造技術(shù)是信息時代的基石，代表著當(dāng)今世界微細(xì)制造的最高水平。然而我國集成電路產(chǎn)業(yè)一直受到西方在先進(jìn)制造裝備、材料和工藝引進(jìn)等方面的種種限制，高端芯片主要依賴進(jìn)口。我國集成電路產(chǎn)品連續(xù)多年進(jìn)口額超過2000億美元，超過石油成為最大宗進(jìn)口產(chǎn)品。

為實現(xiàn)自主創(chuàng)新發(fā)展，2008年國務(wù)院批準(zhǔn)實施集成電路專項，主攻裝備、工藝和材料的技術(shù)攻關(guān)，掌握核心技術(shù)，開發(fā)關(guān)鍵產(chǎn)品。經(jīng)過200多家企事業(yè)單位的兩萬名科技工作者9年攻關(guān)，我國集成電路關(guān)鍵設(shè)備終于實現(xiàn)從無到有、由弱變強(qiáng)。

5月23日，科技部會同北京市和上海市人民政府組織召開了國家科技重大專項“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”（簡稱專項）成果發(fā)布會。發(fā)布會由科技部重大專項辦公室主任陳傳宏主持，專項牽頭實施單位北京市經(jīng)信委主任張伯旭、上海市科委總工程師傅國慶，以及專項技術(shù)總師、中國科學(xué)院微電子研究所所長葉甜春分別介紹了集成電路專項實施取得的攻關(guān)成果及應(yīng)用情況，并就熱點(diǎn)問題答記者問。

14nm芯片技術(shù)迎突破

“2008年以前，國內(nèi)集成電路制造最先進(jìn)的量產(chǎn)工藝是130納米，研發(fā)的工藝水平為90納米，專項實施到現(xiàn)在，主流工藝水平提升了5代，55、40、28納米三代成套工藝研發(fā)成功，并且實現(xiàn)量產(chǎn)，22~14納米先導(dǎo)技術(shù)研發(fā)取得突破，形成了自主知識產(chǎn)權(quán)，這些工藝制造的智能手機(jī)、通訊智能卡等芯片產(chǎn)品開始大批量進(jìn)入市場，極大地提高了我國信息產(chǎn)業(yè)的競爭力。”葉甜春介紹道。

記者在現(xiàn)場了解到，此次發(fā)布的專項成果包括9年來已研發(fā)成功并進(jìn)入海內(nèi)外市場的30多種高端裝備和上百種關(guān)鍵材料產(chǎn)品、面向全球開展服務(wù)的65至28納米產(chǎn)品工藝和高密度封裝集成技術(shù)成果。

張伯旭表示，9年以來，專項圍繞集成電路制造產(chǎn)業(yè)鏈布局創(chuàng)新鏈，集聚和培育了一大批高端人才，大幅提升了我國集成電路自主創(chuàng)新能力、產(chǎn)業(yè)發(fā)展能力，極大促進(jìn)了學(xué)科建設(shè)，成果填補(bǔ)了一大批關(guān)鍵裝備、材料等產(chǎn)業(yè)鏈空白。

具體而言，刻蝕機(jī)、薄膜沉積等關(guān)鍵裝備實現(xiàn)了從無到有，批量應(yīng)用在大生產(chǎn)線上；55、40、28納米三代工藝已完成研發(fā)并實現(xiàn)量產(chǎn)，20~14納米工藝研發(fā)取得突破；后道封裝集成技術(shù)成果全面實現(xiàn)量產(chǎn)，引領(lǐng)全行業(yè)技術(shù)水平從低端跨入高端，實現(xiàn)與世界同步；拋光劑和濺射靶材等上百種關(guān)鍵材料通過大生產(chǎn)線考核進(jìn)入批量銷售。

“這些成果基本覆蓋了我國集成電路全產(chǎn)業(yè)鏈體系，扭轉(zhuǎn)了之前工藝技術(shù)全套引進(jìn)的被動局面，為我國集成電路產(chǎn)業(yè)自主健康發(fā)展打下了堅實基礎(chǔ)。”張伯旭說。

“培育自主知識產(chǎn)權(quán)體系是科技重大專項組織實施的重中之重。”葉甜春表示，目前，集成電路專項已申請了2.3萬余項國內(nèi)發(fā)明專利和2000多項國際發(fā)明專利，所形成的知識產(chǎn)權(quán)體系使國內(nèi)企業(yè)在國際競爭中的實力和地位發(fā)生了巨大變化，發(fā)展模式也從“引進(jìn)消化吸收再創(chuàng)新”轉(zhuǎn)變?yōu)椤白灾餮邪l(fā)為主加國際合作”的新模式。

機(jī)制創(chuàng)新成亮點(diǎn)

除了工藝技術(shù)取得的成果以外，專項的積極探索，還推動構(gòu)建了市場經(jīng)濟(jì)下，由政府引導(dǎo)、市場主導(dǎo)、企業(yè)主體、產(chǎn)學(xué)研用協(xié)同的新型舉國創(chuàng)新體系。

“根據(jù)集成電路產(chǎn)業(yè)的區(qū)域集聚特點(diǎn)，國家把專項交給北京市、上海市兩個地方政府牽頭組織實施，這也是唯一一個由地方政府組織實施的重大專項，是我們國家科技重大專項組織實施模式的一次創(chuàng)新嘗試。”張伯旭介紹道，9年來，北京市、上海市政府與中央部委一道，強(qiáng)化專項的戰(zhàn)略研究和頂層設(shè)計，在北京、上海、江蘇、沈陽、深圳、武漢等重點(diǎn)區(qū)域合力布局，引導(dǎo)地方政府投入要素資源。其中，北京、上海兩個地方政府累計拿出了103億元資金用于地方配套。

其次，在專項實施的組織機(jī)制中，還率先提出了“應(yīng)用考核技術(shù)，整機(jī)考核部件，下游考核上游，市場考核產(chǎn)品”的用戶考核制，保證專項成果是經(jīng)過嚴(yán)格的市場與用戶考驗，真正可以應(yīng)用的產(chǎn)品，解決了科技成果檢驗標(biāo)準(zhǔn)和驗證機(jī)制的難題。

除此之外，專項還采取產(chǎn)業(yè)鏈、創(chuàng)新鏈、金融鏈有效協(xié)同的新模式，與重點(diǎn)區(qū)域產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)劃協(xié)同布局，主動引導(dǎo)地方和社會的產(chǎn)業(yè)投資跟進(jìn)支持，有效推動了專項成果產(chǎn)業(yè)化，扶植企業(yè)做大做強(qiáng)，形成產(chǎn)業(yè)規(guī)模，提高整體產(chǎn)業(yè)實力。

“專項通過構(gòu)建光刻設(shè)備和封測等產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新聯(lián)盟，集合產(chǎn)業(yè)鏈上制造工藝、裝備、相關(guān)零部件和材料等上下游企業(yè)、相關(guān)研究機(jī)構(gòu)和高等院校等200多家單位共同開展產(chǎn)學(xué)研用協(xié)同攻關(guān)。這種大兵團(tuán)協(xié)同作戰(zhàn)、產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同整合式的項目組織方式，有力地推動了產(chǎn)學(xué)研用的有機(jī)結(jié)合，激發(fā)了中國集成電路制造產(chǎn)業(yè)的創(chuàng)新活力，促進(jìn)了產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新生態(tài)的健康成長。”張伯旭說，在專項支持下，一批龍頭企業(yè)進(jìn)入世界前列，一批骨干企業(yè)開始積極參與國際競爭，專項支持的企業(yè)在資本市場備受青睞。

未來發(fā)展將面向?qū)嶋H應(yīng)用需求

關(guān)于未來發(fā)展，傅國慶表示，專項將面向2020年，圍繞傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)升級和戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展的需求組織攻關(guān)，推動創(chuàng)新成果的規(guī)模化應(yīng)用，培育具有國際競爭力的產(chǎn)業(yè)集群，為“創(chuàng)新驅(qū)動發(fā)展戰(zhàn)略”的實施提供科技支撐。

張伯旭也表示，專項將進(jìn)一步圍繞移動通訊、大數(shù)據(jù)、新能源、智能制造、物聯(lián)網(wǎng)等重點(diǎn)領(lǐng)域大宗產(chǎn)品制造需求，進(jìn)行工藝、裝備和關(guān)鍵材料的協(xié)同布局，推動全產(chǎn)業(yè)鏈專項成果的規(guī)模化應(yīng)用，促進(jìn)產(chǎn)業(yè)生態(tài)的改善和技術(shù)升級，實現(xiàn)技術(shù)促進(jìn)產(chǎn)業(yè)發(fā)展目標(biāo)。

葉甜春介紹說，專項已經(jīng)在14納米裝備、工藝、封裝、材料等方面進(jìn)行了系統(tǒng)部署，預(yù)計到2018年將全面進(jìn)入產(chǎn)業(yè)化。“十三五”還將重點(diǎn)支持7~5納米工藝和三維存儲器等國際先進(jìn)技術(shù)的研發(fā)，支持中國企業(yè)在全球產(chǎn)業(yè)鏈中擁有核心競爭力，實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)自主發(fā)展，形成特色優(yōu)勢。

本文轉(zhuǎn)自d1net（轉(zhuǎn)載）

總結(jié)

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