一、主要部件：

S-4800主機(包括真空系統、電子光學系統、檢測器)、X射線能譜儀，E-1030噴金噴碳裝置等。

二、主要性能指標：

二次電子分辨率：1.0 nm(15 kV)；2.0 nm(1 kV)；背散射電子分辨率：3.0 nm (15 kV)；電子槍：冷場發射電子源，加速電壓：0.5 ~ 30 kV(0.1 kV/步，可變)；放大倍率：×30 ~ × 800,000；X射線能譜儀的元素分析范圍為Be4~U92；噴金噴碳裝置可以通特定的氣氛保護樣品。

三、設備特點及應用范圍：

S-4800型高分辨場發射掃描電鏡(簡稱S-4800)為日本日立公司于2002年推出的產品。該電鏡的電子發射源為冷場，物鏡為半浸沒式。在高加速電壓(15 kV)下，S-4800的二次電子圖像分辨率為1 nm，這是目前半浸沒式冷場發射掃描電鏡所能達到的最高水平。該電鏡在低加速電壓(1 kV)下的二次電子圖像分辨率為2 nm，這有利于觀察絕緣或導電性差的樣品。S-4800的主要附件為X射線能譜儀。利用S-4800和X射線能譜儀可以在觀察樣品表面微觀形貌的同時進行微區成分定性和定量以及元素分布分析。此次所購X射線能譜儀的元素分析范圍為Be4~U92，從而可以分析輕元素。由于S-4800不能在低真空條件下工作，因此不適合直接觀察含水和含油樣品。

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總結

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