一、半導(dǎo)體清洗工藝綜述

清洗是貫穿半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的重要工藝環(huán)節(jié)，用于去除半導(dǎo)體硅片制造、晶圓制造和封裝測試每個步驟中可能存在的雜質(zhì)，避免雜質(zhì)影響芯片良率和芯片產(chǎn)品性能。

目前，隨著芯片制造工藝先進(jìn)程度的持續(xù)提升，對晶圓表面污染物的控制要求不斷提高，每一步光刻、刻蝕、沉積等重復(fù)性工序后，都需要一步清洗工序。半導(dǎo)體清洗是指針對不同的工藝需求對晶圓表面進(jìn)行無損傷清洗以去除半導(dǎo)體制造過程中的顆粒、自然氧化層、金屬污染、有機(jī)物、犧牲層、拋光殘留物等雜質(zhì)的工序。半導(dǎo)體清洗中的污染物種類、來源以及主要危害情況如下：

半導(dǎo)體污染物來源及危害

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二、全球半導(dǎo)體清洗設(shè)備發(fā)展現(xiàn)狀

半導(dǎo)體清洗設(shè)備屬于晶圓處理設(shè)備的一種，其占比約為晶圓處理設(shè)備總規(guī)模的5%。據(jù)統(tǒng)計(jì)，2018年全球半導(dǎo)體清洗設(shè)備市場規(guī)模為34.26億美元，2019年和2020年受全球半導(dǎo)體行業(yè)景氣度下行的影響，有所下降，分別為30.52億美元和25.44億美元，預(yù)計(jì)2021年隨著全球半導(dǎo)體行業(yè)復(fù)蘇，全球半導(dǎo)體清洗設(shè)備市場將呈逐年增長的趨勢，2024年預(yù)計(jì)全球半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)規(guī)模將達(dá)到31.98億美元，國內(nèi)市場規(guī)模約為10億美元。

2018-2024年全球半導(dǎo)體清洗設(shè)備市場規(guī)模及增速

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從結(jié)構(gòu)來看，單片清洗設(shè)備是目前市場的絕對主流，據(jù)統(tǒng)計(jì)，2019年單片清洗設(shè)備、槽式清洗設(shè)備、批式旋轉(zhuǎn)噴淋清洗設(shè)備和洗刷器等類型清洗設(shè)備的市場份額分別為22.76億美元、5.52億美元、0.13億美元和2.08億美元，占比分別為74.63%、18.10%、0.44%和6.83%。隨著集成電路特征尺寸的進(jìn)一步縮小，單片清洗設(shè)備在40nm以下的制程中的應(yīng)用會更加廣泛，未來的占比有望逐步上升。

2019年全球半導(dǎo)體清洗設(shè)備細(xì)分市場占比

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隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷進(jìn)步，半導(dǎo)體器件集成度不斷提高，清洗的步驟大幅提高。90nm的芯片清洗工藝約90道，到了20nm清洗工藝達(dá)到215道。隨著芯片進(jìn)入16nm以及7nm以下，清洗工藝的道數(shù)將會加速增長。

2020年全球各制程半導(dǎo)體清洗工序數(shù)量情況

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相關(guān)報(bào)告：華經(jīng)產(chǎn)業(yè)研究院發(fā)布的《2022-2027年中國半導(dǎo)體清洗設(shè)備市場競爭態(tài)勢及行業(yè)投資前景預(yù)測報(bào)告》

三、半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)競爭格局

全球半導(dǎo)體清洗設(shè)備市場高度集中，單片清洗設(shè)備領(lǐng)域尤甚。DNS、TEL、LAM與SEMES四家公司合計(jì)市場占有率達(dá)到90%以上，其中DNS市場份額最高，市場占有率在40%以上。

2020年全球半導(dǎo)體單片清洗設(shè)備市場競爭格局

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四、中國企業(yè)半導(dǎo)體清洗設(shè)備布局情況

近年來，我國半導(dǎo)體清洗設(shè)備產(chǎn)業(yè)迅速發(fā)展，國產(chǎn)化率不斷提升。從2019年中國半導(dǎo)體清洗設(shè)備招標(biāo)采購份額來看，我國半導(dǎo)體清洗設(shè)備的國產(chǎn)化率已經(jīng)超過了20%。這個數(shù)值遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過了其他大部分半導(dǎo)體設(shè)備的國產(chǎn)化率。

2019年中國半導(dǎo)體清洗設(shè)備招標(biāo)采購份額(單位:%)

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資料來源：中國國際招標(biāo)網(wǎng)，華經(jīng)產(chǎn)業(yè)研究院整理

我國半導(dǎo)體清洗領(lǐng)域的重要參與者包括至純科技、盛美半導(dǎo)體、北方華創(chuàng)、芯源微等，國內(nèi)半導(dǎo)體清洗廠商起步比海外雖然較晚，追趕勢頭強(qiáng)勁，具體進(jìn)展情況如下：

國內(nèi)清洗設(shè)備廠商進(jìn)展

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資料來源：各公司公告，華經(jīng)產(chǎn)業(yè)研究院整理

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華經(jīng)情報(bào)網(wǎng)隸屬于華經(jīng)產(chǎn)業(yè)研究院，專注大中華區(qū)產(chǎn)業(yè)經(jīng)濟(jì)情報(bào)及研究，目前主要提供的產(chǎn)品和服務(wù)包括傳統(tǒng)及新興行業(yè)研究、商業(yè)計(jì)劃書、可行性研究、市場調(diào)研、專題報(bào)告、定制報(bào)告等。涵蓋文化體育、物流旅游、健康養(yǎng)老、生物醫(yī)藥、能源化工、裝備制造、汽車電子、農(nóng)林牧漁等領(lǐng)域，還深入研究智慧城市、智慧生活、智慧制造、新能源、新材料、新消費(fèi)、新金融、人工智能、“互聯(lián)網(wǎng)+”等新興領(lǐng)域。

總結(jié)

以上是生活随笔為你收集整理的2020年全球半导体清洗设备发展现状、竞争格局及中国企业发展进展分析，行业集中度较高，国产化进程达到20%「图」的全部內(nèi)容，希望文章能夠幫你解決所遇到的問題。

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