公司名錄	主要產(chǎn)品類型	技術(shù)來源
無錫納微電子有限公司	硅壓力傳感器	是2008年1月由中國(guó)無錫留學(xué)人員創(chuàng)業(yè)園、中國(guó)愛德基金會(huì)，和主要?jiǎng)?chuàng)業(yè)人員等共同出資，南京大學(xué)教授都有為院士任公司董事長(zhǎng)及首席科學(xué)家，海外留學(xué)歸國(guó)人員桂建明博士任公司總經(jīng)理
北京廣微積電科技有限公司	壓力傳感器、非制冷紅外探測(cè)器	公司主要設(shè)計(jì)研發(fā)人員均來自國(guó)外，尤其在集成電路設(shè)計(jì)及微傳感器系統(tǒng)集成方面具有極其雄厚的科研實(shí)力，與西安西岳電子合作非制冷紅外探測(cè)器
西安中星測(cè)控有限公司	MEMS慣性傳感器，壓力傳感器	成立于2004年8月，由原西安中星測(cè)控有限責(zé)任公司（成立于1996年4月）與新加坡泛偉投資控股公司（Panweld Holdings Limited）共同出資組建；設(shè)有四個(gè)研究機(jī)構(gòu)：慣性產(chǎn)品研究室、光電傳感研究室、汽車電子研究室和力與壓力研究室
蘇州敏芯微電子技術(shù)有限公司	MEMS微型硅麥克風(fēng)，硅壓力傳感器?	公司的管理團(tuán)隊(duì)有著深厚的半導(dǎo)體封裝和MEMS產(chǎn)業(yè)背景，并曾作為創(chuàng)始人實(shí)現(xiàn)過一家半導(dǎo)體封裝公司及一家MEMS公司的上市；公司的技術(shù)核心團(tuán)隊(duì)有著在國(guó)內(nèi)外頂尖大學(xué)微電子實(shí)驗(yàn)室從事 MEMS 與集成電路（IC）技術(shù)研究的寶貴經(jīng)驗(yàn)，擁有數(shù)項(xiàng)涉及 MEMS 關(guān)鍵技術(shù)的突破性發(fā)明和世界級(jí)科研成果
歌爾聲學(xué)股份有限公司	微型麥克風(fēng)、微型揚(yáng)聲器	與中科院聲學(xué)所、北京郵電大學(xué)等國(guó)內(nèi)外多家知名高校和科研機(jī)構(gòu)有長(zhǎng)期的戰(zhàn)略合作伙伴關(guān)系
重慶金山科技（集團(tuán)）有限公司	膠囊內(nèi)窺鏡，硅微型泵	其總經(jīng)理為原寶雞傳感器研究所所長(zhǎng)
北京青鳥元芯微系統(tǒng)科技有限責(zé)任公司 ?	微型濕度傳感器MEMS壓力傳感器、加速度傳感器	以"北京大學(xué)微電子學(xué)研究院"和"微米/納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室"為技術(shù)依托
寶雞秦明傳感器有限公司	壓力傳感器	以中國(guó)第一個(gè)傳感器專業(yè)研究所——寶雞傳感器研究所為其研究 開發(fā)中心
上海芯敏微系統(tǒng)技術(shù)有限公司	?	以中科院上海微系統(tǒng)所傳感技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室
北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司	設(shè)備	前身是國(guó)家骨干電子企業(yè)
北京創(chuàng)威納科技有限公司	設(shè)備	主要技術(shù)人員曾在中國(guó)科學(xué)院微電子中心、清華大學(xué)等單位長(zhǎng)期 從事半導(dǎo)體設(shè)備及工藝研究工作
江蘇英特神斯科技有限公司（Intellisense）	軟件IntelliSuite	總部在美國(guó)
深迪半導(dǎo)體（上海）有限公司	微型陀螺儀	海外歸國(guó)人員創(chuàng)業(yè)
無錫美新半導(dǎo)體	加速度傳感器，地磁傳感器	母公司美國(guó)美新公司（MEMSIC）

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還有其它的，例如上海巨哥電子科技有限公司，深圳市卡默萊電子科技有限公司，煙臺(tái)睿創(chuàng)微納技術(shù)有限公司Raytron，上海三鑫科技發(fā)展有限公司（Laseno微型激光投影儀）

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目前，國(guó)內(nèi)MEMS產(chǎn)品門類依然相對(duì)較少，主要還是以慣性器件和壓力傳感器為主，而且多是中低端產(chǎn)品，創(chuàng)新性強(qiáng)的新器件、新系統(tǒng)鮮有出現(xiàn)

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高校和研究所：

北京大學(xué)、1000m2 MEMS 潔凈室

中科院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所，1600m2MEMS 潔凈室

河北半導(dǎo)體研究所（13所）1000m2MEMS 潔凈室

廈門大學(xué)薩本棟微納米技術(shù)研究中心 600m2潔凈室

中國(guó)工程物理研究院微系統(tǒng)中心1000 m2潔凈室

中國(guó)科學(xué)院微電子研究所

中國(guó)科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所

北京國(guó)浩微磁電子智能傳感器技術(shù)研究所

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其它的諸如：山東淄博國(guó)家高新區(qū)MEMS研究院、陜西省微型機(jī)械電子系統(tǒng)研究中心、西安212/213所、618所，航天717/704所等等，

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大連理工王立鼎院士的分析是：

研發(fā)的分布地區(qū)和單位：
中國(guó)內(nèi)地MEMS的研發(fā)單位主要集中在華北、華東和東北三個(gè)地區(qū)，還有西南地區(qū)的重慶和西北地區(qū)的西安等。初步統(tǒng)計(jì)，不同層次的內(nèi)地研發(fā)單位共有60余個(gè)。如：
華北地區(qū)：清華大學(xué)、北京大學(xué)、中科院電子所、石家莊13所，中科院力學(xué)所等；
華東地區(qū)：中科院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)所、上海交大、上海大學(xué)、東南大學(xué)、浙江大學(xué)、廈門大學(xué)、中國(guó)科大、南京55所等；
東北地區(qū)：大連理工大學(xué)、哈爾濱工業(yè)大學(xué)、哈爾濱49所、中科院長(zhǎng)春光機(jī)所、沈陽儀器儀表工藝所、東北大學(xué)等；
西南地區(qū)：重慶大學(xué)、重慶微系統(tǒng)科技股份有限公司等；
西北地區(qū)：西安交大、航空618所等；
內(nèi)地其它單位還有：解放軍總裝備部、中科院半導(dǎo)體所、中科院高能物理所、北京理工大學(xué)、北京航空航天大學(xué)、南開大學(xué)、天津大學(xué)、華北工學(xué)院、復(fù)旦大學(xué)、華東師范大學(xué)、中科院上海光機(jī)所、南京航空航天大學(xué)、中科院合肥智能機(jī)械所、黑龍江大學(xué)、沈陽工業(yè)大學(xué)、沈陽47所、長(zhǎng)春科技大學(xué)、重慶24所、重慶26所、重慶44所、中科院成都光電技術(shù)所、中國(guó)工程物理院電子所、成都電子科技大學(xué)、西北工業(yè)大學(xué)、西安電子科技大學(xué)、廣東工業(yè)大學(xué)、武漢科技大學(xué)、河北科技大學(xué)、四川大學(xué)、航天集團(tuán)16所等。
香港地區(qū)：香港科大、中文大學(xué)等。
臺(tái)灣地區(qū)：臺(tái)灣大學(xué)、清華大學(xué)、交通大學(xué)、成功大學(xué)、新竹工業(yè)園機(jī)械所等。
據(jù)統(tǒng)計(jì)，按部門分布如圖1所示。

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代工服務(wù)：

中芯國(guó)際

無錫華潤(rùn)上華科技有限公司

臺(tái)灣的TSMC和UMC

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封裝：

南通富士通：

晶方半導(dǎo)體科技有限公司：拓展至微電機(jī)(MEMS)，無線射頻識(shí)別芯片(RFID)

華天科技：開發(fā)MEMS封裝技術(shù)

長(zhǎng)電科技：已掌握MEMS封裝技術(shù)，并以實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)

通富微電：國(guó)內(nèi)最早研究開發(fā)MEMS封裝，也是國(guó)內(nèi)最先實(shí)現(xiàn)MEMS量產(chǎn)的廠家，客戶包括意法半導(dǎo)體、美新等國(guó)內(nèi)外知名的MEMS企業(yè)

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工業(yè)園：蘇州，無錫

造蘇州工業(yè)園區(qū)生物納米科技園，希望使其成為生物科技的創(chuàng)新平臺(tái)

無錫市積極建設(shè)中國(guó)微納國(guó)際創(chuàng)新園，并將微納米產(chǎn)業(yè)作為重點(diǎn)發(fā)展對(duì)象

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總結(jié)

以上是生活随笔為你收集整理的国内MEMS企业、研究所以及科研院校的全部?jī)?nèi)容，希望文章能夠幫你解決所遇到的問題。

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