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中国光刻机的新突破 清华大学获得光刻机光源新进展

發布時間:2024/8/26 人文关怀 49 博士
生活随笔 收集整理的這篇文章主要介紹了 中国光刻机的新突破 清华大学获得光刻机光源新进展 小編覺得挺不錯的,現在分享給大家,幫大家做個參考.

眾所周知,目前我國芯片發展被別人牢牢扼住了喉嚨,而光刻機在芯片的制造過程中是重中之重,但是我國科研人員從未停止腳步,中國光刻機最近有了新突破。

首先我們了解一下光刻機為什么難造。技術被“封鎖”。我國一路走來,沒少遭到打壓,技術封鎖這樣的新聞,似乎平常的都不叫新聞,而是老生常談的舊聞了。目前光刻機的技術,荷蘭是最有發言權的,如果我們可以與之達成合作,那必然可以加速我國芯片研究的進程。可是國與國之間的合作不是那么簡單,由于美國的壓制,相關技術被封鎖的死死的。

中國近些年的發展神速,其實很大程度上來源于起初的引進之后再仿造,可是由于我國在該領域已經落后了幾十年,沒有參照物仿照如何展開?從一張白紙到精彩紛呈很難,況且還是近乎“獨闖天下”,自然是難上加難。

一臺ASML光刻機有著大大小小8萬個左右的零部件,其涉及到的技術也是諸多科研公司結合之后的結果。有人形容ASML光刻機,是集合了人類高智慧的一個作品,甚至它本身就是一個藝術品。就算找到了某一下技術公司合作,也只是一方面的接觸,并不能在這個技術集合的產物中,起到多大的作用。

目前國內實力最強的光刻機廠商是上海微電子,而在2020年6月份,上海微電子披露了一份消息,將會在2021年-2022年期間,正式對外交付一臺28nm制程工藝浸潤式光刻機設備,采用的光源為第四代的ArF,波長為193nm,這也意味著我國的光刻機設備將會從90nm工藝時代邁入到28nm工藝時代。

近日,清華大學公布了一份研究成果,宣布已經找到了一種高功率、高重頻、窄帶寬的相干輻射,波長可覆蓋從太赫茲到極紫外(EUV)波段:SSMB光源。功率更大,穩定性更強的SSMB光源,這意味著一旦被成功應用到光刻機上面,那么我們國家將在極紫外光源這一領域有了零到一的突破,這對于我國的光刻機研發意義非凡。

此外上海微電子方面也傳來了好消息,那就是我國的光刻機將會邁入到14nm工藝制程時代,而此前中芯國際就掌握了14nm制程工藝芯片量產技術,這也意味著我國的芯片產業鏈將會達到14nm工藝水準,完全不需要依賴外國技術或者是設備,雖然距離高端7nm、5nm工藝芯片技術,還有著較大的技術差距。

我國從未停下對光刻機的研究和研發,最近也是好消息不斷,這極大的鼓舞了民族信心,不管日后是自護研發出來也好還是借鑒改造也好,光刻機作為時代最高科技含量的產物,我國勢必將其拿下。

總結

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