作者：憲瑞

　　在先進(jìn)半導(dǎo)體工藝上，國內(nèi)最大的晶圓代工廠中芯國際 SMIC 的 14nm 工藝已經(jīng)量產(chǎn)，改進(jìn)版的12nm 工藝也在導(dǎo)入中，取得了優(yōu)秀的成績。考慮到國內(nèi)半導(dǎo)體工藝上的落后，光指望中芯國際一家也是不行的，上海華虹集團(tuán)日前透露其 14nm FinFET 工藝也全線貫通，SRAM 良率已達(dá) 25%。

　　1 月 12 日下午，，華虹集團(tuán)在無錫新落成的華虹七廠研發(fā)大樓召開“開放、創(chuàng)新、合作—華虹集團(tuán) 2020 年全球供應(yīng)商迎新座談會”，邀請了國內(nèi) 30 多家、國外 50 多家供應(yīng)商合作伙伴出席，華虹集團(tuán)高管分享了該公司的最新進(jìn)展。

　　華虹方面表示，2019 年是華虹集團(tuán)產(chǎn)能擴(kuò)張、工藝提升的關(guān)鍵年，該公司多個(gè)項(xiàng)目都取得了重要進(jìn)展：

• 作為華虹集團(tuán)在上海市域以外的第一個(gè)制造項(xiàng)目，華虹七廠于 9 月 17 日實(shí)現(xiàn)順利投產(chǎn)，首期 1 萬片產(chǎn)能的機(jī)臺順利串線并完成一系列工藝驗(yàn)證，進(jìn)入正常生產(chǎn)階段，創(chuàng)造了業(yè)界同類產(chǎn)線建成投產(chǎn)的最快記錄，成為中國大陸第一條 12 英寸特色工藝產(chǎn)線，也是中國大陸第一條 12 英寸功率器件代工產(chǎn)線；
• 華虹六廠自 2018 年 10 月 18 日投產(chǎn)以來，產(chǎn)能爬坡順利，目前已經(jīng)完成月產(chǎn) 2 萬片的裝機(jī)產(chǎn)能；
• 華虹五廠實(shí)現(xiàn)連續(xù)兩年盈利，年度出貨量、單日作業(yè)量屢創(chuàng)新高；
• 華虹宏力 8 英寸特色工藝制造平臺（華虹一、二、三廠）在產(chǎn)能規(guī)模、營運(yùn)效率方面持續(xù)保持領(lǐng)先，并連續(xù) 9 年實(shí)現(xiàn)盈利。

　　華虹集團(tuán)成為業(yè)界唯一一家連續(xù)兩年建設(shè)并投產(chǎn)運(yùn)營兩條 12 英寸生產(chǎn)線的企業(yè)

　　除了產(chǎn)能建設(shè)之外，華虹集團(tuán)在技術(shù)研發(fā)上也獲得了多項(xiàng)重要突破，新研發(fā)的 65/55 納米節(jié)點(diǎn)得射頻和 BCD 特色工藝平臺，處于國際先進(jìn)水平；28 納米工藝（28LP/28HK/28HKC+）均實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)；22 納米研發(fā)快速推進(jìn)；14 納米研發(fā)或重大進(jìn)展；更先進(jìn)技術(shù)節(jié)點(diǎn)的先導(dǎo)工藝研發(fā)快速部署。

　　尤其是最新一代的工藝，華虹集團(tuán)總工程師趙宇航指出其 14nm FinFET 工藝已經(jīng)全線貫通，SRAM 良率 25%，2020 年將快速推進(jìn)。

　　這也是華虹集團(tuán)首次對外公布 14nm 工藝的具體良率情況，SRAM 芯片的 25% 良率對生產(chǎn)來說肯定不行，但是對研發(fā)、實(shí)驗(yàn)來說已經(jīng)是一大進(jìn)步。

　　在總體進(jìn)度上，華虹的 14nm 工藝肯定是不如中芯國際的 14nm 快的，后者的 14nm 工藝去年良率就達(dá)到了 95%，并已經(jīng)開始進(jìn)入量產(chǎn)階段，比國家預(yù)定目標(biāo)提前一年，現(xiàn)在正在產(chǎn)能提升及新工藝導(dǎo)入階段。

總結(jié)

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