作者：憲瑞

　　在先進半導體工藝上，國內最大的晶圓代工廠中芯國際 SMIC 的 14nm 工藝已經量產，改進版的12nm 工藝也在導入中，取得了優秀的成績。考慮到國內半導體工藝上的落后，光指望中芯國際一家也是不行的，上海華虹集團日前透露其 14nm FinFET 工藝也全線貫通，SRAM 良率已達 25%。

　　1 月 12 日下午，，華虹集團在無錫新落成的華虹七廠研發大樓召開“開放、創新、合作—華虹集團 2020 年全球供應商迎新座談會”，邀請了國內 30 多家、國外 50 多家供應商合作伙伴出席，華虹集團高管分享了該公司的最新進展。

　　華虹方面表示，2019 年是華虹集團產能擴張、工藝提升的關鍵年，該公司多個項目都取得了重要進展：

• 作為華虹集團在上海市域以外的第一個制造項目，華虹七廠于 9 月 17 日實現順利投產，首期 1 萬片產能的機臺順利串線并完成一系列工藝驗證，進入正常生產階段，創造了業界同類產線建成投產的最快記錄，成為中國大陸第一條 12 英寸特色工藝產線，也是中國大陸第一條 12 英寸功率器件代工產線；
• 華虹六廠自 2018 年 10 月 18 日投產以來，產能爬坡順利，目前已經完成月產 2 萬片的裝機產能；
• 華虹五廠實現連續兩年盈利，年度出貨量、單日作業量屢創新高；
• 華虹宏力 8 英寸特色工藝制造平臺（華虹一、二、三廠）在產能規模、營運效率方面持續保持領先，并連續 9 年實現盈利。

　　華虹集團成為業界唯一一家連續兩年建設并投產運營兩條 12 英寸生產線的企業

　　除了產能建設之外，華虹集團在技術研發上也獲得了多項重要突破，新研發的 65/55 納米節點得射頻和 BCD 特色工藝平臺，處于國際先進水平；28 納米工藝（28LP/28HK/28HKC+）均實現量產；22 納米研發快速推進；14 納米研發或重大進展；更先進技術節點的先導工藝研發快速部署。

　　尤其是最新一代的工藝，華虹集團總工程師趙宇航指出其 14nm FinFET 工藝已經全線貫通，SRAM 良率 25%，2020 年將快速推進。

　　這也是華虹集團首次對外公布 14nm 工藝的具體良率情況，SRAM 芯片的 25% 良率對生產來說肯定不行，但是對研發、實驗來說已經是一大進步。

　　在總體進度上，華虹的 14nm 工藝肯定是不如中芯國際的 14nm 快的，后者的 14nm 工藝去年良率就達到了 95%，并已經開始進入量產階段，比國家預定目標提前一年，現在正在產能提升及新工藝導入階段。

總結

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