作者：憲瑞

　　荷蘭 ASML 公司前不久發(fā)布的財(cái)報(bào)顯示2019 年該公司出貨了 26 臺(tái) EUV 光刻機(jī)，創(chuàng)造了歷史記錄。ASML 沒有公布具體的客戶名單，但是主要買家就是臺(tái)積電與三星。現(xiàn)在韓國(guó)媒體爆料稱，三星日前又下了一筆大訂單，斥資 33.8 億美元采購(gòu) 20 臺(tái) EUV 光刻機(jī)，不僅會(huì)用于7/5nm 等邏輯工藝，還會(huì)用在 DRAM 內(nèi)存芯片生產(chǎn)上。

　　據(jù)報(bào)道，三星在 1 月 15 日與 ASML 公司簽訂了新一輪訂單，將采購(gòu) 20 臺(tái) EUV 光刻機(jī)，總計(jì)花了 33.8 億美元，約合 234 億元人民幣。

　　這次的 EUV 光刻機(jī)采購(gòu)規(guī)模比去年 10 月份的 15 臺(tái)、181 億元的規(guī)模更大，顯示出三星在 EUV 工藝上的雄心，畢竟三星從 7nm 開始就會(huì)直接上馬 EUV 工藝，目前已經(jīng)量產(chǎn)，高通、NVIDIA、IBM 等公司都會(huì)是三星 7nm EUV 工藝的客戶。

　　在 7nm 之后，三星還會(huì)推出 6nm LPP、5nm LPE、4nm LPE 等工藝，依然少不了 EUV 光刻機(jī)的參與，其中 6nm 工藝號(hào)稱今年 1 月份已經(jīng)量產(chǎn)出貨，不過(guò)三星沒有提供詳細(xì)的客戶信息。

　　這次采購(gòu)的 20 臺(tái) EUV 光刻機(jī)不僅會(huì)用于邏輯工藝，還會(huì)用在 DRAM 內(nèi)存芯片上，這有可能帶來(lái)內(nèi)存芯片生產(chǎn)的一場(chǎng)變革。

　　在進(jìn)入 10nm 級(jí)別之后，DRAM 內(nèi)存也衍生出了 1X、1Y、1Z 至少三代工藝，大概等效于 16-19nm、14-16nm、12-14nm，美光還會(huì)有更細(xì)化的1α、1β等工藝，但是在越過(guò) 10nm 這個(gè)坎上，內(nèi)存工藝上 EUV 光刻機(jī)也是遲早的事。

　　從報(bào)道來(lái)看，三星最快在今年底就會(huì)在內(nèi)存芯片生產(chǎn)上使用 EUV 光刻機(jī)，雖然不知道具體詳情，但是年底的時(shí)候三大內(nèi)存芯片廠商應(yīng)該會(huì)開始量產(chǎn)新一代的 DDR5 內(nèi)存，所以有可能在 DDR5 內(nèi)存上首嘗 EUV 的螃蟹味道。

總結(jié)

以上是生活随笔為你收集整理的三星斥资34亿美元采购20台EUV光刻机 内存也要上新工艺的全部?jī)?nèi)容，希望文章能夠幫你解決所遇到的問題。

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