除了大家都知道的光刻機，半導體設備生產中還需要各種設備，國內的中微半導體設備公司已經能夠生產高端刻蝕設備，其5nm刻蝕機已經批量生產，用于臺積電的5nm生產線中。

中微半導體上周末發布了2019年財報，全年實現營業收入19.47億元，同比增長18.77%；實現歸母凈利潤1.89億元，同比增長107.51%。

根據該公司年報，中微公司開發的高端刻蝕設備已運用在國際知名客戶65納米到7納米的芯片生產線上。

同時，公司根據先進集成電路廠商的需求，已開發出5納米刻蝕設備用于若干關鍵步驟的加工，并已獲得行業領先客戶的批量訂單——雖然中微沒有明說，但是這家客戶就是臺積電，也只有他們量產了5nm工藝。

總結

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