正如此前的報道，8月20日，光刻機巨頭ASML（阿斯麥）在中國臺灣南部科學園區啟用了第一座全球培訓中心（荷蘭之外），主要服務亞洲客戶。

據悉，培訓中心斥資新臺幣4.7億（約合1.1億元），建筑面積1625平米，目前有14名培訓師。中心內有EUV實機模塊，ASML提供全套且豐富的培訓課程，主要輔導亞洲客戶學習如何在潔凈室內操作EUV光刻技術。

ASML初步計劃每年提供數千小時的培訓課程，培養內外EUV技術人員360名左右。

按照ASML的說法，從新手到獨立操作EUV光刻技術，培養周期大約是18個月。受到疫情影響，基于荷蘭本土的培訓存在局限，新的訓練中心將減少客戶成本，并更安全地提供服務。

ASML臺灣地區經理Mark Ting表示，2010年，公司向臺積電交付了首臺EUV光刻原型機，2017年，第一臺面向量產的TWINSCAN NXE:3400光刻機交付給臺積電。3年后的今天，中國臺灣已經是全世界EUV光刻機安裝量最大的地區。

出席揭幕活動的臺積電先進制程副總經理王英郎表示，培訓中心的啟用將有助其提升5nm以下先進制程良率。

業內人士透露，臺積電迄今已購買了30臺EUV機器，每臺成本超過1.2億歐元（約合9.8億元人民幣），其中20多臺用在了3nm/5nm生產線。

總結

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