2023年11月5日-10日，第六屆中國國際進(jìn)口博覽會（以下簡稱“進(jìn)博會”）將在上海全面線下舉辦。

光刻設(shè)備領(lǐng)先供應(yīng)商阿斯麥（ASML）今年也將第五次參加進(jìn)博會，公司將以“光刻未來，攜手同行”為主題，亮相國家會展中心技術(shù)裝備展區(qū)集成電路專區(qū)，并首次以互動視頻的形式帶領(lǐng)觀眾深度了解ASML包括光刻機(jī)臺、計(jì)算光刻以及光學(xué)和電子束量測在內(nèi)的全景光刻解決方案如何相互協(xié)作、支持客戶。

在正式參會前夕，ASML全球高級副總裁、中國區(qū)總裁沈波就本屆參展計(jì)劃、在華業(yè)務(wù)發(fā)展情況及未來規(guī)劃等熱點(diǎn)話題和外界展開交流。

△ASML全球副總裁、中國區(qū)總裁沈波

“今年，我們深圳和武漢的研發(fā)團(tuán)隊(duì)開發(fā)并發(fā)布了一款貼合中國客戶需求的新版本計(jì)算光刻產(chǎn)品，能夠?qū)崿F(xiàn)行業(yè)領(lǐng)先的良率。在此背景下，我們也希望通過進(jìn)博會這樣的平臺持續(xù)讓外界對ASML有更客觀、全面的認(rèn)識，ASML始終積極響應(yīng)中國集成電路行業(yè)的發(fā)展需求，為客戶提供全景光刻解決方案，這其中不僅包括大家熟知的光刻機(jī)臺，還有計(jì)算光刻、以及光學(xué)和電子束量測，從而幫助客戶經(jīng)濟(jì)高效地提升良品率和生產(chǎn)效率。”沈波近日向媒體介紹。

ASML持續(xù)擴(kuò)大在中國的研發(fā)投入

自1988年向中國交付了首臺步進(jìn)式光刻機(jī)之后，ASML公司已經(jīng)在中國市場深耕30余年，參與支持了中國半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展，提供全包括光刻機(jī)臺、計(jì)算光刻、以及光學(xué)和電子束量測的全景光刻解決方案，從而幫助客戶提高效率并降低成本。

目前，ASML在中國設(shè)有16個(gè)辦事處、12個(gè)倉儲物流中心、3個(gè)開發(fā)中心、1個(gè)培訓(xùn)中心以及1個(gè)維修中心。ASML在中國大陸的員工總?cè)藬?shù)已經(jīng)超過1600人。

據(jù)了解，2004年，ASML在深圳建立首個(gè)計(jì)算光刻開發(fā)中心。經(jīng)過近20年的人才積累，該中心已成為ASML在全亞洲最大的專業(yè)軟件開發(fā)中心。目前，ASML在國內(nèi)有深圳和武漢兩個(gè)計(jì)算光刻開發(fā)中心。

“計(jì)算光刻主要應(yīng)用于芯片的開發(fā)與制造環(huán)節(jié)，實(shí)際是通過大量的數(shù)學(xué)和物理模型的建立來幫助客戶在芯片開發(fā)和制造時(shí)設(shè)計(jì)出一個(gè)模板——用專業(yè)的詞來說叫‘光罩’（又叫‘掩模版’）；光刻機(jī)是把這個(gè)光罩上面客戶設(shè)計(jì)的圖案投影到晶圓上面，然后晶圓通過光刻膠的顯影后續(xù)的工序把它呈現(xiàn)出來。”沈波給出相關(guān)定義時(shí)說。

ASML“鐵三角”全景光刻解決方案中的另一環(huán)是量測，其是曝光后晶圓成像檢查和反饋的環(huán)節(jié)，幫助進(jìn)一步優(yōu)化模型。量測分還為光學(xué)和電子束兩種，其中，ASML電子束量測在北京設(shè)有開發(fā)中心，是ASML電子束量測的全球四大開發(fā)中心之一，專門從事電子束系統(tǒng)關(guān)鍵組件的開發(fā)。

“ASML的服務(wù)不光是對故障維修和讓設(shè)備正常運(yùn)轉(zhuǎn)，很重要的一個(gè)附加值在于ASML團(tuán)隊(duì)能夠配合客戶的工藝做調(diào)整、優(yōu)化，幫助客戶實(shí)現(xiàn)其工藝要求，從而使客戶能夠在制造芯片過程中獲得更好的良率和生產(chǎn)效率，更順暢地把工藝窗口做好；這是我們圍繞‘成像環(huán)節(jié)’做的一些事情，其中需要的不僅僅是光刻機(jī)，我們的計(jì)算光刻軟件和量測系統(tǒng)一起構(gòu)成了緊密協(xié)作的三角形。”沈波在交流會上談到。

ASML在中國的機(jī)臺裝機(jī)量接近1400臺

根據(jù)ASML的財(cái)報(bào)顯示，截止9月30日的前三季度，ASML全球凈銷售額達(dá)203.21億歐元，而中國區(qū)同期收入約合52.67億歐元，占比25.91%左右。

其中，ASML三季度來自中國大陸的銷售收入占比由二季度的24%（銷售額約為13.45億歐元），幾乎翻倍增長到了46%（銷售額約為24.42億歐元），要知道今年一季度中國大陸的銷售收入占比僅8%。

這也進(jìn)一步凸顯了中國大陸市場對于ASML光刻系統(tǒng)旺盛的需求，以及ASML對中國大陸市場交付的快速增長。

對于中國大陸市場增長情況，沈波解釋稱，過去兩年，受產(chǎn)能制約等因素影響，ASML對全球客戶交付率基本維持50%左右。今年中國大陸市場交付相對較多，主要因?yàn)橐恍┊a(chǎn)能越大的全球客戶對行業(yè)波動會越敏感，當(dāng)行業(yè)景氣度下滑時(shí)，這些客戶會選擇放緩產(chǎn)能建設(shè)和設(shè)備采購進(jìn)度。

而中國大陸的客戶目前仍處于產(chǎn)能建設(shè)階段，有些客戶甚至剛起步，尤其在成熟制程這塊需求非常旺盛，所以對行業(yè)波動相對不那么敏感。

“即便面對行業(yè)波動，中國大陸客戶對我們的需求仍是將前兩年訂的貨盡快交付，而其他客戶的需求時(shí)間節(jié)點(diǎn)發(fā)生了變化。所以，最后大家看到的結(jié)果是中國大陸市場所占的份額相對出現(xiàn)上升。”沈波說道。

沈波還特別指出，“現(xiàn)在網(wǎng)上有各種各樣的關(guān)于我們的消息，說我們不賣機(jī)器到中國，這種很吸引眼球的傳聞。然而，實(shí)際上我們從1988年首臺機(jī)器運(yùn)到中國，到2023年底，ASML在中國的光刻機(jī)加上量測的機(jī)臺裝機(jī)量接近1400臺。所以，實(shí)際上我們這些年在中國的成長幅度還是非常可觀的。我們一直在不停地投入做這件事情。”

光刻設(shè)備供不應(yīng)求，ASML正努力提升供應(yīng)能力

作為全球半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)的創(chuàng)新領(lǐng)導(dǎo)者，1984年成立的ASML公司，提供涵蓋硬件、軟件和服務(wù)在內(nèi)的全景光刻解決方案，幫助芯片制造商在硅晶圓上批量“刻”制圖形。目前，ASML是全球最大的光刻機(jī)制造商，通也是全球唯一的極紫外光（EUV）的光刻機(jī)制造商。

“我們的光刻機(jī)每小時(shí)能處理多達(dá)300余片晶圓，每一片晶圓可能在光刻機(jī)中曝光時(shí)間只有十幾秒。這十幾秒，機(jī)器要把所有的曝光完成。其中，在一片晶圓上，根據(jù)產(chǎn)品種類和設(shè)計(jì)的差異需要產(chǎn)生100束光左右，每一束光都會有區(qū)別，并且在實(shí)時(shí)調(diào)整。這個(gè)過程非常復(fù)雜、非常精細(xì)。”

沈波表示，光刻環(huán)節(jié)，處于上千道工序里面最核心的位置。量產(chǎn)芯片廠，產(chǎn)品良率基本上在90%以上。這一千多道工序，每一道工序的誤差、偏差都需要控制得非常精確。任何一道工序有問題，芯片最后出來就可能不是一個(gè)合格的產(chǎn)品，這對芯片廠而言是巨大的成本。

根據(jù)ASML于今年10月18日公布的最新財(cái)報(bào)顯示，截止9月30日的前三季度，ASML全球凈銷售額達(dá)203.21億歐元，而中國區(qū)同期收入約合52.67億歐元，占比25.91%左右。ASML預(yù)計(jì)，2023年第四季度的凈銷售額在67億-71億歐元之間，毛利率在50%-51%之間。

對于ASML來說，截止今年三季度，公司仍有超過350億歐元的未交付訂單。如何突破產(chǎn)能瓶頸以應(yīng)對市場需求增長仍是ASML需要解決的問題。

“總體來講，到目前為止，我們還屬于有一點(diǎn)產(chǎn)能不足的狀態(tài)。對市場的需求來說。盡管現(xiàn)在全球行業(yè)整體處在周期谷底，但ASML目前在手還沒執(zhí)行的訂單有350億歐元。總體上（光刻設(shè)備）還是供不應(yīng)求。”沈波表示，2023年ASML公司銷售額相比2022年（212億歐元）將增長30%，預(yù)計(jì)達(dá)270億歐元以上。

展望行業(yè)趨勢，沈波認(rèn)為，當(dāng)前存儲芯片庫存在進(jìn)一步降低，同時(shí)價(jià)格出現(xiàn)些許回升；邏輯芯片廠設(shè)備的使用率慢慢地往回升，行業(yè)整體正觸底回升，明后年則有望企穩(wěn)；行業(yè)存在周期起伏，但長期上升態(tài)勢未變。

“預(yù)計(jì)到2025年，行業(yè)回暖將使現(xiàn)有產(chǎn)能開滿并需要新產(chǎn)能，同時(shí)，全球各地，包括在中國、美國、歐洲、日韓等會有新的芯片廠在2025年投入運(yùn)行，兩個(gè)因素疊加，屆時(shí)會帶來一波半導(dǎo)體設(shè)備的需求。”沈波指出。

對此ASML此前也已經(jīng)公布了長期的產(chǎn)能規(guī)劃，目標(biāo)是在2030年代中期做到全球每年交付600臺DUV機(jī)器。

沈波解釋稱：“過去很多年，我們每年是全球交付200臺機(jī)器左右，到今年應(yīng)能提升到300多臺的產(chǎn)能，但缺口仍比較大。近年來，我們積極和供應(yīng)商溝通，以期在配合和協(xié)作下，確保順利地響應(yīng)、滿足2025年的產(chǎn)能爬升。如果各方面都配合得符合預(yù)期，我們會在2025年底或者2026年初具備500到600臺DUV之間的全球年供應(yīng)產(chǎn)能。”

中國大陸業(yè)務(wù)明年或受10-15%影響

今年以來，隨著相關(guān)國家半導(dǎo)體出口管制政策接連出臺，業(yè)內(nèi)對地緣政治的影響更為擔(dān)憂。

今年9月，荷蘭最新芯片出口管制措施生效。根據(jù)ASML此前回應(yīng)，自2024年1月1日起，ASML將基本不會獲得向中國客戶發(fā)運(yùn)TWINSCAN NXT：2000i及后續(xù)推出的浸潤式光刻系統(tǒng)的出口許可證。而在此之前，ASML的EUV光刻系統(tǒng)已受到出口限制。

今年10月17日，美國商務(wù)部工業(yè)與安全局（BIS）也發(fā)布多項(xiàng)規(guī)則，更新并擴(kuò)大了2022年10月7日發(fā)布的對先進(jìn)半導(dǎo)體及其制造設(shè)備實(shí)施的一系列嚴(yán)格的出口管制措施等。

ASML回應(yīng)稱，“根據(jù)目前收到的信息，我們認(rèn)為適用該新規(guī)的涉及先進(jìn)芯片制造的中國晶圓廠數(shù)量有限……ASML將向美國政府進(jìn)一步澄清這些新規(guī)的適用范圍。ASML持續(xù)致力于遵守經(jīng)營所在國家/地區(qū)所有適用的法律和法規(guī)，包括出口管制法規(guī)。”

在三季度財(cái)報(bào)會議上，ASML CEO Peter Wennink進(jìn)一步解釋稱，“1980Di原則上將受出口管制限制，但僅當(dāng)用于先進(jìn)半導(dǎo)體制造時(shí)，僅適用于少數(shù)應(yīng)用。這意味著1980Di僅對少數(shù)晶圓廠禁止出口，但可向絕大多數(shù)應(yīng)用于次關(guān)鍵和成熟制程的中國大陸客戶直接出口，無需許可。”

那么，美國的新規(guī)對于ASML中國業(yè)務(wù)具體會有多大影響呢？

沈波坦言，“現(xiàn)在對于新的出口管制政策，我們還在研究中。總體來看，如果以今年我們在中國的業(yè)務(wù)為基礎(chǔ)，明年的業(yè)務(wù)大概會受到10%-15%的影響。中國明年的市場需求還是蠻旺盛的。短期內(nèi)我們感覺應(yīng)該對總體業(yè)務(wù)量不會有太大影響。從公司角度，到2030年，行業(yè)整體趨勢一直起伏性增長，所以對公司銷售的總體趨勢不會有太大的改變。”

“我們只有部分浸潤式產(chǎn)品明年會被放到出口管制的范圍，并不是所有的。即使有了新的出口管制，我們還有非常大的一塊浸潤式的業(yè)務(wù)在中國。”沈波補(bǔ)充稱。

在沈波看來，芯片制造需要一千多道工序，每道工序都集中了全球在該領(lǐng)域最好的公司和人才，才能保證把事情做好；在歷史發(fā)展進(jìn)程中，半導(dǎo)體也一直是需要全球高度合作的產(chǎn)業(yè)，但近年來不光是ASML，整個(gè)行業(yè)發(fā)展都受到了很多地緣政治方面的影響。

如何去應(yīng)對這種變化？沈波表示，“對ASML而言，只要在合法合規(guī)的框架下，我們一定會盡最大的努力去支持所有的客戶。”

“在我們看來，先進(jìn)制程芯片從數(shù)量上講是相對較小的，絕大多數(shù)是成熟制程芯片。我覺得，對于中國來講，這么大終端市場需求推動下，把成熟制程芯片做到非常具有競爭力的水平，對半導(dǎo)體行業(yè)來講是最高效的，可以達(dá)到一個(gè)事半功倍的效果，有助于提高投入產(chǎn)出比。”沈波說道。

總結(jié)

以上是生活随笔為你收集整理的别传不卖了！中国ASML光刻机及量测机台装机量已接近1400台的全部內(nèi)容，希望文章能夠幫你解決所遇到的問題。

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