ASML在光刻機(jī)領(lǐng)域幾乎是巨無霸的存在，而他們對于與中國企業(yè)合作也是非常歡迎，無奈一些關(guān)鍵細(xì)節(jié)上被美國卡死。

EUV光刻機(jī)是光刻機(jī)在發(fā)展過程中的第五代產(chǎn)品，由于采用了極紫外線，它的最小工業(yè)節(jié)點(diǎn)到了 22nm-7nm，可以說是世界上最先進(jìn)的光刻機(jī)設(shè)備——而這種設(shè)備，只有ASML能造出來。

后來此事被報道后，ASML回應(yīng)稱，對包括中國客戶在內(nèi)的全球客戶都一視同仁，且向中國出售EUV光刻機(jī)并沒有違反《瓦森納協(xié)定》。當(dāng)時，荷蘭政府的確向 ASML 發(fā)放了出口許可證。

不過，最終這個交易也沒有形成，根據(jù)知情人士的說法，美國立即盯上了這筆交易——接下來的幾個月里，美方官員至少四次與荷蘭官員開會，討論可否直接封殺這筆交易。

此后，關(guān)于 EUV 光刻機(jī)向中國出口，ASML 的官方說法一直是：公司仍在等待新許可證申請的批準(zhǔn)。

在這之前，ASML CFO Roger Dassen在財報會議的視頻采訪中談到了與中芯國際等中國客戶的業(yè)務(wù)情況，其表示一些情況下，出口光刻機(jī)是不需要許可證的。

美國僅僅是限制了美國不能給中國出口芯片、光刻機(jī)等，但并沒有限制其他國家對中國進(jìn)口，荷蘭并不在美國的禁令范圍內(nèi)。

目前的光刻機(jī)主要分為EUV光刻機(jī)和DUV光刻機(jī)。DUV光刻機(jī)，分為干分式與液浸式兩種。其中，液浸式于ASML手中誕生，其波長雖然有193nm，但等效為134nm，經(jīng)過多重曝光后，液浸式光刻機(jī)也能夠達(dá)到7nm工藝。但是，每多一次曝光都會使得制造成本大大提升，而且良品率也難以控制。

總結(jié)

以上是生活随笔為你收集整理的ASML EUV光刻机被美国卡死：中国企业出多少钱都买不回的全部內(nèi)容，希望文章能夠幫你解決所遇到的問題。

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