ASML EUV光刻机被美国卡死:中国企业出多少钱都买不回
ASML在光刻機領域幾乎是巨無霸的存在,而他們對于與中國企業合作也是非常歡迎,無奈一些關鍵細節上被美國卡死。
EUV光刻機是光刻機在發展過程中的第五代產品,由于采用了極紫外線,它的最小工業節點到了 22nm-7nm,可以說是世界上最先進的光刻機設備——而這種設備,只有ASML能造出來。
后來此事被報道后,ASML回應稱,對包括中國客戶在內的全球客戶都一視同仁,且向中國出售EUV光刻機并沒有違反《瓦森納協定》。當時,荷蘭政府的確向 ASML 發放了出口許可證。
不過,最終這個交易也沒有形成,根據知情人士的說法,美國立即盯上了這筆交易——接下來的幾個月里,美方官員至少四次與荷蘭官員開會,討論可否直接封殺這筆交易。
此后,關于 EUV 光刻機向中國出口,ASML 的官方說法一直是:公司仍在等待新許可證申請的批準。
在這之前,ASML CFO Roger Dassen在財報會議的視頻采訪中談到了與中芯國際等中國客戶的業務情況,其表示一些情況下,出口光刻機是不需要許可證的。
美國僅僅是限制了美國不能給中國出口芯片、光刻機等,但并沒有限制其他國家對中國進口,荷蘭并不在美國的禁令范圍內。
目前的光刻機主要分為EUV光刻機和DUV光刻機。DUV光刻機,分為干分式與液浸式兩種。其中,液浸式于ASML手中誕生,其波長雖然有193nm,但等效為134nm,經過多重曝光后,液浸式光刻機也能夠達到7nm工藝。但是,每多一次曝光都會使得制造成本大大提升,而且良品率也難以控制。
總結
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