SK海力士加速量产第四代内存:新旧工厂齐上EUV光刻机
生活随笔
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SK海力士加速量产第四代内存:新旧工厂齐上EUV光刻机
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目前,EUV光刻機的部署安裝主要在臺積電、三星的晶圓代工廠。不過,內(nèi)存廠商們也開始著手上馬了。
此前,SK海力士規(guī)劃的是為年底建成的M16工廠配備,但來自德國CB的消息稱,M14老廠也會引進。
EUV光刻機參與的將是SK海力士的第四代(1a nm)內(nèi)存,在內(nèi)存業(yè)內(nèi),目前的代際劃分是1x、1y、1z和1a。
EUV光刻機的參與可以減少多重曝光工藝,提供工藝精度,從而可以減少生產(chǎn)時間、降低成本,并提高性能。
當(dāng)然,EUV光刻機實在是香餑餑。唯一的制造商ASML(荷蘭阿斯麥)產(chǎn)能極有限,盡管一臺要10億元左右,可仍舊供不應(yīng)求。這一回新老工廠其上位,不知道SK海力士從ASML那里敲定了多少臺。
另外,本次報道稱,三星2021年將投產(chǎn)EUV工藝生產(chǎn)的內(nèi)存,也就是早些時候發(fā)布的16Gb容量LPDDR5。
總結(jié)
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