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ALD技术,相机去噪,图像传感器

發(fā)布時(shí)間:2023/11/28 生活经验 34 豆豆
生活随笔 收集整理的這篇文章主要介紹了 ALD技术,相机去噪,图像传感器 小編覺得挺不錯(cuò)的,現(xiàn)在分享給大家,幫大家做個(gè)參考.

ALD技術(shù),相機(jī)去噪,圖像傳感器

  1. 作為鏡片的防反射涂層技術(shù)被關(guān)注的ALD(atomic layer deposition)的引入趨勢(shì)。
    (a)為什么需要一種新的防止反射的涂層技術(shù)? ALD被認(rèn)為是最有前途的防止反射的涂層技術(shù)嗎?
    原子層沉積(ALD)是將物質(zhì)以單原子膜形式一層一層鍍?cè)诨妆砻娴募夹g(shù)。原子層沉積是化學(xué)氣相沉積(CVD)的一種,是一種新型薄膜沉積技術(shù),具有成膜均勻性極優(yōu)、成膜密度極好、薄膜純度高、臺(tái)階覆蓋性優(yōu)、可低溫沉積等優(yōu)點(diǎn),可以廣泛應(yīng)用在微納電子、納米材料制造領(lǐng)域,全球多個(gè)國家對(duì)其技術(shù)研究與應(yīng)用開發(fā)正在不斷深入。
    低溫沉積、薄膜純度以及絕佳覆蓋率等固有優(yōu)點(diǎn)。
    ALD 除了常規(guī)的半導(dǎo)體高K 材料,太陽能等領(lǐng)域,軍事上的用途: MCP , 熱和快中子探測(cè)等領(lǐng)域。
    (b)ALD有哪些方面優(yōu)于現(xiàn)有的CVD和PVD沉積技術(shù),從而促進(jìn)了ALD進(jìn)入市場(chǎng)?另一方面,是否有什么因素阻礙了ALD的導(dǎo)入?
    ?例如)折射率的改善,能在小鏡片上涂布厚度均勻的膜層,成本優(yōu)勢(shì),大量的初期投資等。
    ALD有哪些方面優(yōu)于現(xiàn)有的CVD和PVD沉積技術(shù):
    ? 成膜均勻性好;
    ? 薄膜密度高
    ? 臺(tái)階覆蓋性好
    ? 可以實(shí)現(xiàn)低溫沉積(T: 50℃~500 ℃)
    阻止:
    沉積速率還是比較慢,大大限制了其在工業(yè)上的推廣應(yīng)用。
    沉積速率,成本和價(jià)格的問題,在制約推廣。
    (c)誰在加快ALD的導(dǎo)入?
    ?是由華為,索尼,特斯拉,英偉達(dá)或蘋果等成品制造商引導(dǎo)的嗎?
    ?還是鏡頭制造商和加工商在引導(dǎo),以增加附加價(jià)值?
    在全球市場(chǎng)中,ALD設(shè)備生產(chǎn)企業(yè)主要是美國應(yīng)用材料Applied Materials、美國拉姆研究Lam Research、美國英特格Entegris、韓國NCD、荷蘭SolayTec、荷蘭Levitech等。
    在我國市場(chǎng)中,ALD設(shè)備生產(chǎn)企業(yè)主要有無錫微導(dǎo)、無錫松煜、理想能源等。
    (d)ALD進(jìn)入市場(chǎng)并滿足市場(chǎng)需求預(yù)計(jì)需要幾年,多長時(shí)間?
    (e)ALD是否有被期待的特定使用用途?
    ?例如)超高端智能手機(jī)(iPhone13等),自動(dòng)駕駛,監(jiān)控?cái)z像頭等。
    ?或者是在鏡頭的特定部分(例如7層鏡片配置的第一片鏡頭表面或形狀復(fù)雜的凹凸形鏡頭等)需要ALD?
    預(yù)計(jì)未來5年,消費(fèi)電子行業(yè)技術(shù)升級(jí)迭代速度將不斷加快,新型產(chǎn)品推出將不斷增多;物聯(lián)網(wǎng)時(shí)代背景下,連接入網(wǎng)的終端移動(dòng)設(shè)備數(shù)量將快速增加;可穿戴智能設(shè)備、智能家居領(lǐng)域發(fā)展迅速,傳感器需求將快速增長;工業(yè)自動(dòng)化、工業(yè)機(jī)器人普及率將不斷提升,微電子、半導(dǎo)體市場(chǎng)需求將持續(xù)上升。在此背景下,全球原子層沉積技術(shù)需求將快速增長,預(yù)計(jì)2020-2025年間,全球ALD設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模年均復(fù)合增長率將達(dá)到14%以上。
    2.圖像傳感器的整體趨勢(shì)和業(yè)界正在著重解決的重要的技術(shù)問題。
    (a)相機(jī)模塊的小型化會(huì)繼續(xù)嗎?另一方面,圖像傳感器會(huì)變得更大,更薄,分辨率會(huì)更高或靈敏會(huì)更高嗎?
    超小超薄封裝COBP光反射器促使手機(jī)相機(jī)模塊小型化
    鏡頭可換,其次是更大的像場(chǎng)、變焦,等等這一系列問題都讓A7縱然擁有小巧的機(jī)身體積。
    圖像傳感器,或稱感光元件,是一種將光學(xué)圖像信息轉(zhuǎn)換成電信號(hào)的設(shè)備,它被廣泛地應(yīng)用在數(shù)碼相機(jī)和其他電子光學(xué)設(shè)備中。完成圖像信息光電變換的功能器件稱為光電圖像傳感器。
    電荷耦合器件(Charge Coupled Device, CCD)和金屬氧化物半導(dǎo)體(Complementary Metal Oxide Semiconductor, CMOS)器件是目前市場(chǎng)上廣泛應(yīng)用的兩種圖像傳感器器件。它們的主要區(qū)別在于采用的半導(dǎo)體工藝的差別。CMOS和CCD器件都是基于光電效應(yīng)原理,不過在光生電荷的收集和讀出方式上兩者存在著明顯的區(qū)別。
    (b)那些趨勢(shì)或人要求了這些圖像傳感器的發(fā)展?
    ?作為智能手機(jī)的攝像頭,據(jù)說目前的攝像頭模塊還不夠薄,對(duì)嗎?由于相機(jī)部件突出,背面不能平整。另一方面,是否由于鏡片數(shù)量增加或攝像頭的變薄,造成光學(xué)噪聲無法消除,圖像質(zhì)量下降,這種說法對(duì)的嗎?
    ?在汽車的自動(dòng)駕駛中,光學(xué)噪聲的存在會(huì)造成識(shí)別錯(cuò)誤并導(dǎo)致事故,所以必須消除光學(xué)噪聲,這種說法對(duì)的嗎?
    噪音分析
    對(duì)噪聲種類區(qū)分,圖像傳感器的噪聲源根據(jù)特性的不同可以大致劃分為兩類:一種為時(shí)變?cè)肼?#xff0c;另一種是空間分布噪聲。時(shí)變?cè)肼暿窃诓煌瑫r(shí)刻其噪聲值變化的噪聲,如光子散射噪聲、散粒噪聲、熱噪聲等。他們具有白噪聲的性質(zhì)。在時(shí)間軸上,這種噪聲呈泊松分布趨勢(shì),在不同時(shí)刻的信號(hào)值圍繞均值隨機(jī)分布。另一種噪聲在空間分布上具有高斯分布特性,但是在不同時(shí)刻,空間影響都會(huì)顯現(xiàn)。比如:每個(gè)像素的增益和感光面積不同造成的固定模式噪聲、傳感器每列數(shù)據(jù)讀出電路差異造成的列向固定模式噪聲(Column Fixed Pattern Noise, CFPN)。兩種噪聲普遍存在于圖像傳感器的電路中,并且噪聲的傳遞規(guī)律能夠體現(xiàn)圖像傳感器內(nèi)部特征,對(duì)兩部分主要噪聲分析具有十分重要的意義。
    光子散射噪聲
    光子散射噪聲是具有泊松分布特征的隨機(jī)噪聲。它們是由大量單個(gè)事件的統(tǒng)計(jì)不確定性引起的,在時(shí)間上服從泊松分布,噪聲值通常采用入射光子的標(biāo)準(zhǔn)差σ描述。散射噪聲從根本上體現(xiàn)了光子從空間到達(dá)探測(cè)器的隨機(jī)分布情況。例如,關(guān)于演示光子隨機(jī)入射的Monte Carlo模擬示意圖,其中200個(gè)光子入射在一個(gè)20×20 像素的區(qū)域。可以看出,每一個(gè)像素接收到的光子數(shù)目從零到四個(gè)隨機(jī)分布。每個(gè)像素接收到光子數(shù)目的標(biāo)準(zhǔn)偏差被稱為光子散射噪聲。
    子散射噪聲具有量子特性。光子打在圖像傳感器像元上時(shí),光子必然遵循隨機(jī)分布規(guī)律,光子散射噪聲是不可避免的。但是在信號(hào)在傳感器內(nèi)傳輸?shù)倪^程中,隨機(jī)噪聲的傳遞同樣受增益的影響,在輸出端仍會(huì)顯示出隨機(jī)分布的統(tǒng)計(jì)規(guī)律。所以光子散射噪聲對(duì)于圖像傳感器的參數(shù)測(cè)試來說至關(guān)重要,例如系統(tǒng)增益測(cè)試。
    信號(hào)散粒噪聲
    除了光子入射的隨機(jī)噪聲外,圖像傳感器內(nèi)部電路還會(huì)引入散粒噪聲。由于帶電粒子同樣具有量子性,當(dāng)帶電粒子傳遞或者穿越勢(shì)壘的過程中,其數(shù)量并不是恒定不變,而是圍繞均值附近隨機(jī)漲落的。帶電粒子這一漲落特性符合泊松分布,因此當(dāng)電荷積聚以及電壓被放大的過程中,電子隨機(jī)漲落引入散粒噪聲。這種噪聲源于帶電散粒的量子特性,因而稱為散粒噪聲。散粒噪聲屬于白噪聲。
    暗電流
    任何像素在無光條件下,都會(huì)產(chǎn)生非預(yù)期的電荷。能夠產(chǎn)生非預(yù)期電荷的原因包括:感應(yīng)節(jié)點(diǎn)復(fù)位引入的復(fù)位噪聲、電壓在內(nèi)部傳遞引入的源跟隨噪聲、以及其他由于勢(shì)阱充放電引入的隨機(jī)讀出噪聲等。這些噪聲可以統(tǒng)一歸結(jié)為熱隨機(jī)噪聲,這是由熱電子在圖像傳感器熱震蕩引起的,熱隨機(jī)噪聲服從高斯分布規(guī)律。暗電流是單位時(shí)間內(nèi)熱噪聲的累計(jì)值。
    熱噪聲可視為白噪聲,實(shí)際上熱噪聲的功率譜密度,頻域上是平坦的,只在非常高的頻率范圍時(shí)才開始下降,白噪聲模型己經(jīng)足夠精確了。
    固定模式噪聲
    固定模式噪聲包括明場(chǎng)像素不均勻響應(yīng)和固定模式噪聲(FPN),是圖像傳感器的像素結(jié)構(gòu)不一致性引入的噪聲。造成圖像非均勻性原因有很多,硅材料本身質(zhì)量及加工工藝造成溝道摻雜濃度不均,表面態(tài)密度分布不均以及柵氧化物厚度不同,因此開啟電壓和有效感光面積不同。
    圖像傳感器的不均勻性響應(yīng)表現(xiàn)在三方面:一是圖像傳感器每列的讀出電路差異引入的列向固定模式噪聲CFPN,CFPN的主要來源有兩個(gè):差分放大器輸入級(jí)的失配和列雙采樣電路源跟隨器的失配。二是由于圖像傳感器像元加工工藝的不一致,導(dǎo)致像元感光面積具有差異,致使相同光照的情況下,每一個(gè)像元輸出的灰度值有所差異;三是由于半導(dǎo)體材料內(nèi)部摻雜濃度不均勻,導(dǎo)致每個(gè)像元之間的增益大小有差距,同種光照情況下,增益大的像元輸出灰度值大,增益小的像元輸出灰度值小。
    (c)高性能圖像傳感器的決定性課題是什么?
    ?鬼影和耀斑等光學(xué)噪聲是否是課題?或者是降低紅外線?還是防霧?還有其他課題嗎?
    ?當(dāng)前的技術(shù)(用于降低紅外線的藍(lán)玻璃等)無法解決問題有哪些?
    (d)為了解決這些問題,打算使用什么樣的技術(shù)?
    ?改善軟件?
    ?改善攝像頭?
    ?還有其他的方法嗎?
    (e)您認(rèn)為將來圖像傳感器會(huì)成為什么樣的角色?
    ?圖像傳感器是否會(huì)起至關(guān)重要的作用?或者,像ToF等這樣的其他傳感技術(shù)成為主流,圖像傳感器的作用變得不重要?
    智能手機(jī)“多攝像頭化”發(fā)展迅猛
    據(jù)預(yù)測(cè),未來圖像傳感器的市場(chǎng)增長率會(huì)遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過智能手機(jī)的增長。據(jù)OMDIA表示,假設(shè)2020年的智能手機(jī)出貨數(shù)量較上年下滑了13.2%,而圖像傳感器的出貨數(shù)量會(huì)與去年持平,或者微增。此外,在2020年-2030年十年間,年平均增長率(CAGR)會(huì)保持在5.3%,在2026年前后,年度出貨數(shù)量會(huì)突破100億個(gè)。
    而主要原因如下:智能手機(jī)通過搭載多個(gè)攝像頭, 以獲得高質(zhì)量的圖像—-即“多攝像頭化”趨勢(shì)的發(fā)展。“多攝像頭化”趨勢(shì)在2019年開始迅速發(fā)展。據(jù)OMDIA調(diào)查,搭載兩個(gè)以上攝像頭的智能手機(jī)在2018年還不及全數(shù)的一半,而據(jù)預(yù)測(cè),在2020年將會(huì)占八成左右。2020年,搭載三個(gè)及以上攝像頭的智能手機(jī)預(yù)計(jì)會(huì)超五成。他們進(jìn)一步指出:“在市場(chǎng)進(jìn)入紅海(Red Ocean)之下,各家公司要獲得市場(chǎng)份額,戰(zhàn)略很重要。攝像頭也會(huì)起到一定助推作用,在如今的市場(chǎng)上,如果不是搭載多個(gè)攝像頭的手機(jī),基本不會(huì)刺激購買層”。
    2019年智能手機(jī)出貨數(shù)量中,第一名為三星(21%)、第二名為華為(17%)、第三名為蘋果(14%),后續(xù)為小米(9%)、OPPO為8%,在前五名的公司中,中國公司占了三家。智能手機(jī)市場(chǎng)上不僅存在TOP1的競(jìng)爭,此外,2019年整體出貨數(shù)量的57%被中國廠家占據(jù),且呈迅速增長趨勢(shì)。正是這些中國的手機(jī)廠家推動(dòng)了“多攝像頭化”的發(fā)展。
    其中,動(dòng)作最快的是華為,在2017年第四季度,一半的華為手機(jī)都搭載了兩個(gè)及以上攝像頭。據(jù)說,在2019年第三季度,中國的排名前四的手機(jī)廠家—華為和小米、OPPO、Vivo的搭載多個(gè)攝像頭的手機(jī)突破了八成。受此影響,排名第一的三星也迅速擴(kuò)大“多攝像頭化”手機(jī),此外,蘋果也自“iPhone X/XS”開始搭載多個(gè)攝像頭。手機(jī)的多攝像頭化成為了業(yè)界的潮流。如今,搭載三個(gè)攝像頭已經(jīng)成為趨勢(shì),2020年第一季度,中國排名前四的手機(jī)廠商和三星的60%以上的手機(jī)都搭載了三個(gè)及以上攝像頭。
    OMDIA方面進(jìn)一步表示:“這種趨勢(shì)與對(duì)圖像傳感器的預(yù)測(cè)(未來十年,圖像傳感器的需求會(huì)穩(wěn)定推移)有關(guān)聯(lián),即使2020年的智能手機(jī)市場(chǎng)下滑,智能手機(jī)方向的攝像頭需求并不會(huì)減少,且增長程度可以足夠彌補(bǔ)因新冠肺炎帶來的損失”。
    此外,他們還提及了智能手機(jī)攝像頭像素的極限問題,“本來搭載一個(gè)攝像頭就可以獲得較高的像素,但是令人遺憾的是,如今在智能手機(jī)可搭載的形狀因素(Form Factor)中,20M像素已經(jīng)是極限。這里說的并不是半導(dǎo)體設(shè)計(jì)的極限,而是鏡頭(Lens)的極限,如果像素的大小超過鏡頭的聚光范圍,即使進(jìn)一步提高像素,也無法適當(dāng)?shù)亻_啟和關(guān)閉光的投射,因此,不得不搭載兩個(gè)、三個(gè)甚至更多個(gè)攝像頭”。
    智能手機(jī)方向圖像傳感器的像素在不斷提高,如三星研發(fā)了108M像素的圖像傳感器—“Samsung ISOCELL Bright HMX”,正在推進(jìn)供貨。但是,OMDIA方面認(rèn)為:“如果是單位達(dá)億的圖像傳感器的話,STMicroelectronics以及一些日系廠家已經(jīng)在數(shù)年前開始研發(fā)用于衛(wèi)星用途的產(chǎn)品,遠(yuǎn)遠(yuǎn)早于三星,且技術(shù)更勝一籌,即使是三星的產(chǎn)品,也只是’噱頭’,實(shí)際并沒有什么需求”。
    預(yù)計(jì)搭載ToF的智能手機(jī)將會(huì)大幅度增長
    在智能手機(jī)的功能中,另一個(gè)令人期待的是“ToF 傳感”功能的增長。已經(jīng)有多家智能手機(jī)廠家發(fā)布了搭載“ToF 傳感”功能的手機(jī),此外,近期、發(fā)布的“iPhone 12 Pro”也搭載此功能。OMDIA表示,2019年智能手機(jī)方向的“ToF 傳感器”出貨數(shù)量達(dá)13億9,500萬個(gè),2020年雖然會(huì)因新冠肺炎而減速,而2020年-2030年期間,預(yù)計(jì)CAGR會(huì)達(dá)到5.3%。另外,在普通照相機(jī)方向的圖像傳感器中,索尼位居首位,且與TOP2拉開了很大距離;而在ToF傳感器方面,STMicroelectronics、ams是兩家最大的廠商。李根秀先生表示:“不過,與照相機(jī)用途方向相比,手機(jī)用途的技術(shù)門檻更低,因此有很多中國廠家在不斷加入,未來市場(chǎng)占比還會(huì)再發(fā)生變化”。
    車載領(lǐng)域持續(xù)增長、年度增長率近20%
    如上所述,在圖像傳感器市場(chǎng)中,手機(jī)方向占了八成左右,起決定性作用,從增長率來看,又是另一番景象!尤其引人注目的是汽車、工業(yè)設(shè)備、無人機(jī)三個(gè)領(lǐng)域,OMDIA表示,2020年-2030年期間的CAGR分別為19.6%、21.6%、14.0%,增長極其迅速。
    車載領(lǐng)域增長的主要原因在于ADAS(高級(jí)駕駛輔助系統(tǒng),Advanced Driving Assistance System)的發(fā)展。如今,普及率最高的是后視攝像頭(Rear View Camera),據(jù)說這是基于美國的“KT法(Kids and Transportation Safety Act)”要求的。就ADAS攝像頭而言,成本是最大的“瓶頸”,與“后視攝像頭(Rear View Camera)”相比,普及率還較低,但在無人駕駛L2上已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了量產(chǎn),且在2020年4月份日本的L3已經(jīng)全面啟動(dòng),因此市場(chǎng)開始活躍化。各家汽車廠家正在加速研發(fā)以投入新產(chǎn)品。
    據(jù)預(yù)測(cè), 2020年新冠肺炎雖然會(huì)導(dǎo)致市場(chǎng)低迷,而2030年車載方向的圖像傳感器會(huì)從2019年的9,400萬個(gè)增至5億2,500萬個(gè)。從一輛汽車的攝像頭搭載率來看(攝像頭數(shù)量/汽車輛數(shù)),2019年為79.7%,2026年將會(huì)擴(kuò)大至195.2%!
    此外,在車載攝像頭方面,以“后視攝像頭(Rear View Camera)”為中心,安森美半導(dǎo)體(ON Semiconductor)和豪威科技(OmniVision)兩家公司占有較高份額,如上所述,就ADAS攝像頭的研發(fā)而言,“在技術(shù)上占有優(yōu)勢(shì)的索尼的受關(guān)注程度較高”。此外,索尼曾經(jīng)有一條不成文的規(guī)定—-“不從事與人類生命相關(guān)的產(chǎn)品”,自2014年發(fā)布車載圖像傳感器以來,把車載圖像傳感器定位為一大業(yè)務(wù)并開始推進(jìn)研發(fā),索尼于2020年公布稱:開始量產(chǎn)800萬像素級(jí)別的車載圖像傳感器。且應(yīng)用實(shí)績穩(wěn)步推移,如已經(jīng)被豐田最新款A(yù)DAS“Toyota Safety Sense 2.0”采用,此外,索尼在2020年1月的CES上公布了自主研發(fā)的電動(dòng)汽車試做版—-“VISION-S”,進(jìn)一步提高了自身的存在感。
    在車載領(lǐng)域,索尼雖然處于后起之秀,但OMDIA卻認(rèn)為:“索尼以創(chuàng)造了圖像傳感器市場(chǎng)而感到自豪,在車載領(lǐng)域,也盡快與博世在德國的高速公路(Autobahn)上對(duì)搭載了800萬像素圖像傳感器的無人駕駛汽車進(jìn)行了驗(yàn)證試驗(yàn),可以說索尼表現(xiàn)了極大的自信!索尼應(yīng)該是希望通過運(yùn)用自身的產(chǎn)品獲得TOP1的地位,在不久的將來,索尼應(yīng)該會(huì)研發(fā)出令汽車廠家、Tier1大吃一驚的技術(shù)!”
    就工業(yè)設(shè)備而言,據(jù)預(yù)測(cè),在機(jī)器視覺(Machine Vision,即電子設(shè)備、食品外觀檢查等設(shè)備)方面的應(yīng)用未來還會(huì)繼續(xù)加速發(fā)展。OMDIA表示,2020年-2030年期間的CAGR高達(dá)21.6%,而2019年的工業(yè)圖像傳感器的出貨數(shù)量為910萬個(gè),規(guī)模不及車載用途的十分之一,2030年的預(yù)測(cè)值為6,700萬個(gè)。但是,OMDIA認(rèn)為:“也許這個(gè)預(yù)測(cè)不是那么樂觀”,“從以往的市場(chǎng)動(dòng)向來看,很有可能會(huì)在以某種模式獲得成功的同時(shí),各行各業(yè)以及各廠家會(huì)超越隔閡,加大投資。現(xiàn)在還沒有明顯的證據(jù),如果一旦成真,將會(huì)獲得突破性的發(fā)展”。
    在無人機(jī)領(lǐng)域,CAGR主要是基于以個(gè)人興趣為中心的消費(fèi)用途(2019年出貨數(shù)量的七成以上為個(gè)人消費(fèi)用途),未來活躍的中心會(huì)集中在以噴灑農(nóng)藥為主的第一產(chǎn)業(yè),且監(jiān)控、點(diǎn)檢、檢查等各種專業(yè)性方向的采用也會(huì)擴(kuò)大。據(jù)說,圖像傳感器的出貨數(shù)量會(huì)從2019年的740萬個(gè)增至2030年的2,600萬個(gè)。OMDIA認(rèn)為:“到2030年,專業(yè)用途方向的圖像傳感器將會(huì)增至整體的一半,就數(shù)量而言,雖然比不上智能手機(jī),而改變我們的世界這一點(diǎn)是毫無疑問的事實(shí),市場(chǎng)肯定會(huì)進(jìn)一步擴(kuò)大”。

總結(jié)

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