工厂突发火灾 ASML确认EUV光刻机生产受影响、DUV没事
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工厂突发火灾 ASML确认EUV光刻机生产受影响、DUV没事
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全球半導體產能緊張持續一年了,芯片擴產需要包括光刻機在內的重要設備,結果前幾天全球最大光刻機巨頭ASML在德國的工廠遭遇火災,,但是現在可以確定主要是EUV光刻機生產會受影響。
ASML旗下的這家公司位于德國柏林,前身是Berliner Glas,ASML公司2020年才收購了這家公司,它們的營收額并不高,但生產的是光刻機中的一種重要部件,可以用于光刻機及晶圓之間的接口,需要有納米級別的操作精度,可以說是小而精了。
根據ASML的消息,雖然評估是否影響今年的光刻機交貨還有點早,但這次事件影響的主要是EUV光刻機生產,DUV光刻機不受影響。
EUV光刻機是生產7nm以下工藝的關鍵設備,ASML是全球唯一的EUV光刻機供應商,每臺售價1億歐元,將近10億人民幣,去年交付了35臺EUV光刻機,今年計劃交付55臺EUV光刻機,三星、臺積電及Intel是主要的客戶。
總結
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