4月20日，國產半導體設備廠商拓荊科技股份有限公司（以下簡稱“拓荊科技”）正式登陸上海證券交易所科創板。

發行價格為71.88元/股，發行數量為3,161.9800萬股，成功募資約22.73億元（扣除發行費用后募集資金凈額約為21.28億元），相比之前的計劃超募了12億元。

根據此前的招股計劃，拓荊科技擬募資月10億元，主要用于先進半導體設備的技術研發與改進項目、ALD設備研發與產業化項目、高端半導體設備擴產項目及補充流動資金。

據招股書顯示，拓荊科技成立于2010年4月，主要從事高端半導體專用設備的研發、生產、銷售和技術服務。公司聚焦的半導體薄膜沉積設備與光刻機、刻蝕機共同構成晶圓制造三大核心設備，也是目前國內唯一一家產業化應用的集成電路PECVD、SACVD設備廠商。

拓荊科技主要產品包括等離子體增強化學氣相沉積（PECVD）設備、原子層沉積（ALD）設備和次常壓化學氣相沉積（SACVD）設備三個產品系列，并已廣泛應用于中芯國際、華虹集團、長江存儲、長鑫存儲、廈門聯芯、燕東微電子等國內晶圓廠14nm及以上制程集成電路制造產線，在不同種類芯片制造產線的多道工藝中得到商業化應用，同時公司已展開10nm及以下制程產品驗證測試，公司在研產品已發往國際領先晶圓廠參與其先進制程工藝研發。

憑借長期的技術研發和工藝積累，拓荊科技成為較早打破國際巨頭技術壟斷局面的企業。公司100%自主知識產權研制的PECVD設備，是國內唯一能夠應用于大規模集成電路生產線的12英寸全自動PEVCD設備，已用于28nm的集成電路的批量生產，同時具有14-10nm的技術的延展性，產品性能指標表現達到了世界先進水平。

此外，拓荊科技還建成了我國首個半導體薄膜設備生產基地，總建筑面積40,000平方米，包括研發及生產用十級，百級和千級無塵潔凈間。按照發展規劃，公司將開展配適10nm以下制程的PECVD產品研發；開發Thermal ALD 和大腔室PE ALD；同時升級SACVD設備，研發12英寸滿足28nm以下制程工藝需要的SACVD設備。

不過，需要指出的是，與中國大陸半導體專用設備企業相比，國際巨頭企業擁有客戶端先發優勢，產品線豐富、技術儲備深厚、研發團隊成熟、資金實力較強等優勢，國際巨頭還能為同時購買多種產品的客戶提供捆綁折扣。

從全球市場份額來看，薄膜沉積設備行業呈現出高度壟斷的競爭局面，行業 基本由應用材料（AMAT）、ASMI、泛林半導體（Lam）、東京電子（TEL）等國際巨頭壟斷。2019 年，ALD 設備龍頭東京電子（TEL）和先晶半導體（ASMI） 分別占據了 31%和 29%的市場份額，剩下 40%的份額由其他廠商占據；而應用 材料（AMAT）則基本壟斷了 PVD 市場，占 85%的比重，處于絕對龍頭地位；在 CVD 市場中，應用材料（AMAT）全球占比約為 30%，連同泛林半導體（Lam） 的 21%和 TEL 的 19%，三大廠商占據了全球 70%的市場份額。

相比國際巨頭，拓荊科技的綜合競爭力處于弱勢地位。另外，國內半導體設備廠商存在互相進入彼此業務領域，開發同類產品的可 能。例如，在 ALD 設備領域，除發行人外，北方華創、盛美上海、屹唐股份及 中微公司已推出自產設備或有進入 ALD 設備市場的計劃。拓荊科技面臨國際巨頭以及潛在國內新進入者的雙重競爭。

當然，拓荊科技也有著一定的自身優勢。比如，公司部分產品的總體性能和關鍵性能參數已達到國際同類設備水平。此外，相比海外的競爭對手來說，拓荊科技的研發和生產主要位于中國大陸，擁有區位優勢，可以更快速的響應本土客戶的需求，同時在運營成本上也更低。

拓荊科技表示，此次發行上市，是公司發展史上的一個重要里程碑，公司將借助資本市場這一平臺，全面提升公司綜合實力和公司價值，實現投資者利益最大化。

招股書顯示，2018-2020年及2021年1-9月（以下簡稱“報告期內”），拓荊科技營收分別為7,064.4萬元、25,125.15萬元、43,566.77萬元、37,389.57萬元；凈利潤分別為-10,322.29萬元、-1,936.64萬元、-1,169.99萬元及 5,704.87萬元；扣除非經常性損益后歸屬于母公司所有者的凈利潤分別為-14,993.05萬元、-6,246.63萬元、-5,711.62萬元和-2,305.21萬元。

報告期內，拓荊科技尚未實現盈利。拓荊科技表示，這主要由于半導體設備行業技術含量高，研發投入大，產品驗證周期長，公司需要持續進行了大量的研發投入所致。

根據拓荊科技最新公布的財務數據顯示，2021年全年營業收入為75,796.09萬元，同比增長73.99%，凈利潤為6,848.65萬元。實現了年度凈利潤扭虧為盈，但是扣非凈利潤依然為虧損。

2022年1-3月，拓荊科技實現營業收入10,751.77 萬元，較上年同期增長 86.21%，凈利潤再度變為虧損1,187.81萬元。

拓荊科技表示，營收增長主要是由于國內半導體設備行業需求增長以及公司產品競爭力提升。在收入大幅增長的情況下，由于2022年 1-3 月公司研發費用較上年同期增長了72.64%，這也使得公司歸屬于母公司所有者的凈利潤及扣除非經常性損益后歸屬于母公司所有者的凈利潤虧損，較上年同期基本持平。

與主要競爭對手的業績對比來看，拓荊科技目前仍有非常大的差距。

正如前面所提及的，雖然2021年度拓荊科技的凈利潤實現了扭虧為盈，達到了6,848.65萬元，但這主要是得益于政府補貼。

報告期內，公司收到的政府補助款項分別為 4,221.41 萬元、3,686.86 萬元、 25,114.58萬元和5,166.20萬元，占各期經營活動現金流入小計的19.79%、13.50%、 27.61%和 6.58%。

報告期內，公司計入其他收益的政府補助金額分別為 4,691.53 萬元、4,326.27 萬元、5,096.14 萬元、8,074.57 萬元，占當期營業收入的比重分別為 66.41%、17.22%、11.70%和 21.60%。

可以看到，報告期內，政府補貼在拓荊科技的營業收入當中的占比一直是比較高的。

雖然在招股書當中，拓荊科技稱PECVD、ALD、SACVD是其主要銷售的三大類設備，但是從各類產品的產量、銷量及銷售收入占比來看，PECVD仍是產銷量及營收占比最高的。其中，PECVD的銷售收入在總營收當中的占比一直都是在77%以上。ALD、SACVD設備的產銷規模較小，在營收當中的占比也較小。

報告期內，公司研發費用分別為 10,797.31 萬元、7,431.87 萬元、12,278.18 萬元和 12,955.63 萬元，占各期營業收入的比例為 152.84%、29.58%、28.19%和 34.65%。研發費用金額較高和占營業收入的比例較大，這也是公司在報告期內虧損的主要原因。

持續的高比例的研發投入，也推動了拓荊科技研發人員及專利產出的增長。招股書顯示，截至2021年9月30日，公司員工總數為429人，其中本科及以上學歷人員占比高達78.32%。公司研發人員已達189人，在公司總員工數量當中的占比為44.06%。

截至 2022 年 3 月 8 日，拓荊科技累計已獲授權的專利 174 項（境內 153 項，其他國家或地區 21 項），其中發明專利共計 98 項（境內 77 項，其他國家或地區 21 項）。公司還先后承擔了“90-65nm 等離子體增強化學氣相沉積設備研發與應用”和 “1x nm 3D NAND PECVD 研發及產業化”等 4 項國家重大科技專項/課題，已研發了支持不同工藝型號的 PECVD、ALD 和 SACVD 設備，在半導體薄膜沉積設備領域積累了多項研發及產業化的核心技術，構建了具有設備種類、工藝型號 外延開發能力的研發平臺。

報告期內，公司各期前五大客戶主營業務收入金額占當年主營業收入額的占 比較高，分別為 100.00%、84.02%、83.78%和 92.44%，占比較高。這主要是由于下游集成電路行業集中度高所致。客戶也主要是國內的頭部晶圓廠，比如中芯國際、長江存儲、華虹集團等。其中，中芯國際近兩年多以來一直是拓荊科技的第一大客戶。

報告期內，公司向前五大供應商的采購總額在總采購額當中的占比均低于40%，對于第一大供應商的采購占比也均低于13%，并不存在嚴重依賴于少數供應商的情形。公司的前五名供應商比較穩定，不存在新增供應商。

從股權結構來看，在上市發行前，國家集成電路基金為拓荊科技第一大股東，持股26.48%，第二大股東國投上海持股18.23%，第三大股東中微公司持股11.20%。

本次發行后，國家集成電路基金持有拓荊科技19.86%的股份。由于拓荊科技單個股東持有或控制的股份數量均未超過公司總股本的30%，無法形成控股，單個股東亦不能決定董事會多數席位，使得拓荊科技無控股股東及實際控制人。

拓荊科技表示，公司經營方針及重大事項的決策均由股東大會或董事會按照公司議事規則充分討論后確定，避免了因單個股東控制引起決策失誤而導致公司出現重大損失的可能，但不排除存在因無控股股東及實際控制人導致公司決策效率低下的風險。

拓荊有限成立時注冊資本 1,000 萬元，中科儀、孫麗杰（代替美籍華人姜謙出資）分別出資 60%、40%。其中，孫麗杰以“半導體基板加工設備”技術經評估出資 400 萬元。

孫麗杰于 2014 年 1 月將其持有的拓荊有限 40% 股權轉讓給姜謙、凌復華、張孝勇、劉憶軍、張先智五名外籍專家，以及公司四個員工持股平臺沈陽盛騰、沈陽盛旺、沈陽盛全、沈陽盛龍，實現了代持股份的解除。

截至本上市公告書簽署日，拓荊科技董事姜謙、拓荊科技董事長呂光泉、田曉明、張孝勇、周堅、葉五毛、寧建平等七名美籍專家，均為拓荊科技核心技術人員，直接持有并通過員工持股平臺間接持有發行人激勵股份，共計持有拓荊科技3.0881%的股權。具體情況如下：

截至本上市公告書簽署日，拓荊科技設有芯鑫和、芯鑫全、芯鑫龍、芯鑫成、 芯鑫旺、芯鑫盛、芯鑫陽、沈陽盛騰、沈陽盛旺、沈陽盛全、沈陽盛龍等 11 個員工持股平臺，合計持有發行人 11,481,700 股股份，占本次發行前股份總數的12.1040%。

呂光泉、劉憶軍、凌復華、吳飚、周仁、張先智、 張孝勇等 8 名直接持有公司股份的自然人，以及芯鑫和、 芯鑫全、芯鑫龍、芯鑫成、芯鑫旺、芯鑫盛、芯鑫陽、沈陽盛騰、沈陽盛旺、沈陽盛全、沈陽盛龍等 11 個公司員工持股平臺，均為姜謙的一致行動人，合計持有拓荊科技15.1920%的股份。

總結

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