IT之家5月19日消息上海微電子裝備（集團）股份有限公司（簡稱SMEE）主要致力于半導體裝備、泛半導體裝備、高端智能裝備的開發、設計、制造、銷售及技術服務。今天，上海微電子裝備官方表示，其高亮度LED步進投影光刻機最終從1200多個申報項目中成功突圍，入選“上海設計100+”。

上海微電子裝備自主研發的高亮度LED步進投影光刻機，是中國首臺面向6英寸以下中小基底先進光刻應用領域的光刻機產品，可滿足HB-LED等領域單面或雙面的光刻工藝需求，解決了LED產業大翹曲藍寶石高分辨率、高拼接精度、大焦深、高產率的光刻需求，且支持藍寶石鍵合片特殊工藝。

IT之家獲悉，上海微電子裝備高亮度LED步進投影光刻機自產品問世以來，先后榮獲“第十五屆中國國際工業博覽會銅獎”、“上海市專利新產品”、“第十三屆（2018年度）中國半導體創新產品和技術獎”、工信部第四批“制造業單項冠軍產品”等榮譽。

總結

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