内存又要跌价了?SK海力士计划在M16工厂引入EUV光刻机
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内存又要跌价了?SK海力士计划在M16工厂引入EUV光刻机
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在進入20nm節點之后,內存工業也面臨著CPU工藝一樣的制造難題,微縮越來越困難,制造工藝復雜,導致內存成本居高不下。如今7nm以下的處理器用上了EUV光刻機,內存很快也要跟進了,SK海力士計劃在韓國M16工廠引入EUV工藝。
與目前大量在用的DUV光刻相比,EUV光刻機可以減少多重曝光工藝,提供工藝精度,從而可以減少生產時間、降低成本,并提高性能。
內存用上EUV工藝之后,內存顆粒的制造成本理論上是會下降的,這也為內存降價奠定基礎,不過EUV初期來說就很難了,因為EUV光刻機售價將近10億元人民幣,新建EUV產線的成本是非常高的,需要時間消化。
據韓國媒體報道,SK海力士已經成立了專門的研究小組攻克EUV工藝,從去年就開始投資EUV中可能用到的TF材料,相關研究由副總裁鄭泰佑負責,他是蝕刻技術的專家,曾參與SK海力士首個10nm DRAM“Arius”的開發項目以及下一代NAND閃存的研發。
SK海力士也在推進建設EUV DRAM內存生產線的建設,預計在韓國利川市的M16工廠中開始引入。
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