在本周召開的臺積電技術(shù)研討會上，最重要的中心信息之一是，該公司在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域處于世界領(lǐng)先地位，特別是在領(lǐng)先的工藝技術(shù)領(lǐng)域。

　　為進(jìn)一步傳達(dá)信息，臺積電展示了一張幻燈片，指出了它與其他產(chǎn)品的相對位置：通過結(jié)合 ASML 的聲明和自己的內(nèi)部采購單，臺積電預(yù)測他們已安裝了全世界約約 50％ 的激活 EUV 機(jī)器。

　　除此之外，該公司還擁有約 60％ 的 EUV 晶圓累計(jì)生產(chǎn)量。

　　大型晶圓廠目前已知的公開 EUV 工藝包括 TSMC 的7+ 和 N5，以及三星的 7LPP（及以下任何產(chǎn)品），英特爾的 EUV 努力僅在明年進(jìn)入其自己的 7nm 產(chǎn)品組合。

　　這些流程之外的任何前沿技術(shù)都將繼續(xù)擴(kuò)大 EUV 的使用范圍。

　　與常規(guī) DUV 機(jī)器相比，EUV 機(jī)器的吞吐率通常較低，每小時約為 120-175 片晶圓，最新版本可以達(dá)到 275 wph，但是由于 1 層 EUV 通常可以代替3-4 層 DUV，因此吞吐率更高。

　　但是，對于這些代工廠來說，渴望擴(kuò)展到多個 EUV 機(jī)器以增加晶圓的物理數(shù)量是一個迫切的目標(biāo)。

　　唯一制造 EUV 機(jī)器的公司是 ASML，并且該公司公開宣布其每年銷售多少臺機(jī)器。詳情如下：

　　請注意，到目前為止，ASML 仍未完全達(dá)到其目標(biāo)，但是已經(jīng)足夠接近實(shí)現(xiàn)目標(biāo)，這表明到 2020 年第二季度末，ASML 僅出貨了 13 臺，但他們預(yù)期是 35 個系統(tǒng)。

　　這些數(shù)字包括 ASML 已制造的所有不同類型的 Twinscan NXE 機(jī)器，而更新的機(jī)器具有更高的吞吐量（有時會翻新一些舊的機(jī)器）。

　　截止到 2020 年 Q2，我們預(yù)測 ASML 已經(jīng)發(fā)貨的 EUV 機(jī)接近 71 臺，到 2020 年年底，這個數(shù)字將有可能達(dá)到 90 臺，然而 ASML 可能有多達(dá)積壓 49 EUV 掃描曝光機(jī)訂單，即使具有這些發(fā)貨目標(biāo)。

　　如果 ASML 已經(jīng)出貨了 71 臺機(jī)器，那么根據(jù)臺積電的數(shù)字，這意味著該公司大約有 30-35 臺。

　　請注意，TSMC 的數(shù)字是針對“已安裝的 EUV”機(jī)器的。我們獲悉，從獲取零件到校準(zhǔn)機(jī)器使用最多需要 6 個月的時間。

　　因此，目前，這些晶圓廠中有一些正在等待安裝 EUV 機(jī)器，或者在 Intel 的情況下，可能僅用于早期測試或風(fēng)險前試驗(yàn)。

　　我們知道，GlobalFoundries 擁有兩臺早期的 EUV 機(jī)器，安裝了一臺，但是當(dāng)它決定不追求領(lǐng)先的 7nm 時最終出售了這兩臺機(jī)器，其中國內(nèi)企業(yè)訂購了一臺，但據(jù)我們所知，由于美國施加的限制，它沒有安裝。

　　隨著臺積電為其 N5 生產(chǎn)增加其 Fab 18 的產(chǎn)能，并提高其 EUV 集成度，看看臺積電是否受制于其所擁有的機(jī)器數(shù)量是否受到限制將很有趣。

　　在某個時候，英特爾在部署 7 納米工藝時也會想購買一個數(shù)量（我已經(jīng)看到英特爾已經(jīng)至少有 10 臺機(jī)器，但我無法確認(rèn)），所以可能會有一個誰先獲得訂單的爭吵。

　　但是可以肯定的是，ASML 正處于中間位置，壟斷著一切。

總結(jié)

以上是生活随笔為你收集整理的台积电买下市场上50%的EUV光刻机 贡献了60%的产能的全部內(nèi)容，希望文章能夠幫你解決所遇到的問題。

如果覺得生活随笔網(wǎng)站內(nèi)容還不錯，歡迎將生活随笔推薦給好友。