制程工藝技術(shù)
核心技術(shù)
Core Technology
01集成電路量產(chǎn)工藝覆蓋1微米到28納米各主要工藝技術(shù)節(jié)點(diǎn)
02嵌入式非易失性存儲(chǔ)器工藝技術(shù)能力和規(guī)模全球領(lǐng)先，IC卡芯片晶圓制造規(guī)模全球最大
03豐富的工藝組合，超低功耗eFLASH，eEEPROM和MCU技術(shù)，提供低成本解決方案
04領(lǐng)先的功率半導(dǎo)體工藝制造能力和規(guī)模，一流的深溝槽超級(jí)結(jié)工藝技術(shù)，車規(guī)級(jí)的IGBT生產(chǎn)技術(shù)
05CMOS圖像傳感器先進(jìn)的制造技術(shù)，市場規(guī)模全球前列
06射頻，BCD，超低功耗，數(shù)模混合和MEMS等領(lǐng)先的特色工藝技術(shù)
07全球最大規(guī)模射頻識(shí)別技術(shù)在票務(wù)系統(tǒng)上成功實(shí)施的“大型展會(huì)票務(wù)系統(tǒng)”
制造工藝技術(shù)平臺(tái)
Manufacturing process technology platform

INTEGRATED CIRCUIT
MANUFACTURING
? 嚴(yán)格的品質(zhì)管理保障
? 創(chuàng)新的特色工藝技術(shù)
? 領(lǐng)先的生產(chǎn)制造能力
? 一站式全程服務(wù)
? 完備的供應(yīng)商認(rèn)證
上海華虹宏力半導(dǎo)體制造有限公司
上海華虹宏力半導(dǎo)體制造有限公司（以下簡稱“華虹宏力”），自建設(shè)中國大陸第一條8英寸集成電路生產(chǎn)線起步，目前在上海金橋和張江建有三座8英寸晶圓廠（華虹一廠，二廠及三廠），月產(chǎn)能約18萬片，在北美，中國臺(tái)灣，歐洲和日本等地均提供銷售與技術(shù)支持。華虹宏力工藝技術(shù)覆蓋1微米至90納米各節(jié)點(diǎn)，其嵌入式非易失性存儲(chǔ)器（eNVM），功率器件，模擬及電源管理和邏輯及射頻等差異化工藝平臺(tái)在全球業(yè)界極具競爭力，并擁有多年成功量產(chǎn)汽車電子芯片的經(jīng)驗(yàn)。
華虹宏力和國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金股份有限公司，無錫錫虹聯(lián)芯投資有限公司等在無錫高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)內(nèi)，合資設(shè)立了華虹半導(dǎo)體（無錫）有限公司。其一期項(xiàng)目有一座月產(chǎn)能4萬片的12英寸晶圓廠（華虹七廠），工藝節(jié)點(diǎn)覆蓋90~65/55納米，“IC + Discrete”強(qiáng)大的工藝技術(shù)平臺(tái)，有力支持物聯(lián)網(wǎng)等新興領(lǐng)域應(yīng)用。這不僅是中國大陸領(lǐng)先的12英寸特色工藝生產(chǎn)線，也是全球第一條12英寸功率器件代工生產(chǎn)線。華虹無錫集成電路研發(fā)和制造基地，華虹集團(tuán)融入長三角一體化高質(zhì)量發(fā)展戰(zhàn)略，首次走出上海，布局全國的第一個(gè)制造業(yè)項(xiàng)目，在華虹新20年發(fā)展戰(zhàn)略中具有標(biāo)志性意義。
上海華力
上海華力成立于2010年，作為行業(yè)內(nèi)領(lǐng)先的集成電路芯片制造企業(yè)，上海華力擁有先進(jìn)的工藝制程和完備的解決方案，量產(chǎn)工藝技術(shù)覆蓋65/55納米，40納米和28/22納米技術(shù)節(jié)點(diǎn)，工藝類型包括邏輯以及射頻，高壓，嵌入式閃存，超低功耗，NOR閃存和圖像傳感器等特色工藝平臺(tái)，豐富的工藝技術(shù)全面應(yīng)用于手機(jī)通信，消費(fèi)類電子，物聯(lián)網(wǎng)及汽車電子四大終端產(chǎn)品市場。上海華力致力于為設(shè)計(jì)公司，IDM公司及其他系統(tǒng)公司提供一站式芯片制造技術(shù)服務(wù)。
目前，上海華力負(fù)責(zé)運(yùn)營華虹五廠，華虹六廠兩座12英寸全自動(dòng)晶圓廠。華虹五廠是中國大陸第一條12英寸全自動(dòng)集成電路芯片制造生產(chǎn)線，月產(chǎn)能3.8萬片；華虹六廠設(shè)計(jì)月產(chǎn)能4萬片，于2018年10月建成投片。上海華力總部位于上海張江科學(xué)城，并在美國，日本，中國臺(tái)灣等國家和地區(qū)設(shè)有辦事處，為全球客戶提供銷售服務(wù)與技術(shù)支持。
上海集成電路研發(fā)中心有限公司
集團(tuán)旗下上海集成電路研發(fā)中心有限公司（ICRD）成立于2002年，是國家支持組建，產(chǎn)學(xué)研合作的國家級(jí)集成電路研發(fā)中心。
上海集成電路研發(fā)中心聚焦集成電路主流技術(shù)路線，致力于解決重大共性技術(shù)的研發(fā)及服務(wù)支撐問題，并為自主可控產(chǎn)業(yè)鏈建設(shè)提供公共的裝備和材料驗(yàn)證平臺(tái)。ICRD掌握了多個(gè)技術(shù)代的工藝技術(shù)和知識(shí)產(chǎn)權(quán)，為中國集成電路生產(chǎn)線的建設(shè)，提供了多套技術(shù)轉(zhuǎn)移和服務(wù)；通過設(shè)立產(chǎn)業(yè)界共性技術(shù)研發(fā)項(xiàng)目，進(jìn)行FinFET器件及工藝，FDSOI關(guān)鍵工藝，5nm以下納米線晶體管等新器件和工藝技術(shù)的聯(lián)合研發(fā)；開展產(chǎn)學(xué)研合作，研發(fā)STT-MRAM，晶體管級(jí)3D堆疊，量子點(diǎn)傳感器，類神經(jīng)元晶體管等前沿技術(shù)和產(chǎn)品；通過以先進(jìn)工藝帶動(dòng)裝備和材料研發(fā)評(píng)價(jià)的方式，為國產(chǎn)光刻機(jī)，刻蝕機(jī)，銅互連，光刻膠，大硅片等裝備和材料，提供全方位驗(yàn)證和工藝配套，推動(dòng)供應(yīng)鏈的國產(chǎn)化。
同時(shí)，ICRD通過不斷完善設(shè)備設(shè)施條件，加強(qiáng)國際合作，建成了中國條件最好的集成電路人才實(shí)訓(xùn)基地，并對(duì)全行業(yè)和高校開放。
上海華虹摯芯電子科技有限公司
上海華虹摯芯電子科技有限公司成立于2000年12月，是國家高新技術(shù)企業(yè)，經(jīng)過多年的市場探索和專心研發(fā)，華虹摯芯在功率器件領(lǐng)域擁有多項(xiàng)核心技術(shù)。主要功率器件產(chǎn)品有IGBT，Coolmos，SGT，Trench Mos等。市場應(yīng)用領(lǐng)域除了原有的傳統(tǒng)家電和通訊外，積極開拓了綠色照明、智能家居、數(shù)據(jù)中心、新能源等新興應(yīng)用領(lǐng)域，既為全球頂級(jí)客戶提供深度定制化產(chǎn)品，也為普通客戶提供高性價(jià)比的標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品，得到了行業(yè)內(nèi)客戶的普遍認(rèn)可。公司通過了ISO9001質(zhì)量體系認(rèn)證，秉承客戶至上的宗旨，從嚴(yán)把控芯片設(shè)計(jì)、制造、封裝、測試等環(huán)節(jié)，為客戶提供穩(wěn)定可靠的功率器件產(chǎn)品。
上海華虹計(jì)通智能系統(tǒng)股份有限公司
上海華虹計(jì)通智能系統(tǒng)股份有限公司（以下簡稱“華虹計(jì)通”）成立于1997年，作為上海國資系統(tǒng)創(chuàng)業(yè)版上市第一股，2012年6月在深圳創(chuàng)業(yè)版成功上市。
華虹計(jì)通是一家專業(yè)從事信息系統(tǒng)設(shè)計(jì)、開發(fā)和集成的高新技術(shù)企業(yè)，已基本確立了在軌道交通自動(dòng)售檢票（AFC）系統(tǒng)及智慧城市應(yīng)用系統(tǒng)集成領(lǐng)域的市場地位，可為AFC系統(tǒng)、智慧城市應(yīng)用系統(tǒng)等多個(gè)集成領(lǐng)域提供完整的整體解決方案。
目前，公司主營業(yè)務(wù)從AFC向智慧交通、智慧人居、工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)、信創(chuàng)產(chǎn)業(yè)等行業(yè)應(yīng)用和重點(diǎn)解決方案領(lǐng)域延伸和布局，充分發(fā)揮自身在“行、住、政、工、游”方面的智慧技術(shù)開發(fā)優(yōu)勢(shì)和成功案例，致力于打造城市數(shù)字化管理平臺(tái)，以云為底座，統(tǒng)籌大數(shù)據(jù)、物聯(lián)網(wǎng)、AI、GIS、視頻云、融合通信等各種新技術(shù)，并打通各類數(shù)據(jù)，向上可支持應(yīng)用的快速開發(fā)和靈活部署，向下打通連接，實(shí)現(xiàn)“云-管-端”三者的協(xié)同。
公司堅(jiān)持技術(shù)先行與行業(yè)專注，致力于運(yùn)用領(lǐng)先技術(shù)為行業(yè)客戶提供全面可靠的解決方案和專業(yè)細(xì)分的行業(yè)產(chǎn)品，不斷提升企業(yè)的信息互聯(lián)和服務(wù)創(chuàng)新活力。
上海虹日國際電子有限公司
上海虹日國際電子有限公司成立于1997年6月，是由上海華虹(集團(tuán))有限公司、豐田通商株式會(huì)社和株式會(huì)社先端電子共同出資的中日合資公司，注冊(cè)資本500萬美元，目前總部設(shè)立在上海，另設(shè)北京、大連、深圳三處分公司。
上海虹日完全改變了傳統(tǒng)半導(dǎo)體分銷商的經(jīng)營模式，提出以提供穩(wěn)定、專業(yè)的電子零部件供應(yīng)鏈服務(wù)和基于技術(shù)及市場需求的產(chǎn)品推廣能力作為企業(yè)的核心競爭力，為大型電子整機(jī)廠商服務(wù)，在提供系統(tǒng)解決方案、協(xié)助廠家改善設(shè)計(jì)，降低成本、提高物流效率等方面，為客戶創(chuàng)造附加價(jià)值。
虹日目前的業(yè)務(wù)模式分為：
產(chǎn)品導(dǎo)向業(yè)務(wù)，直接參與客戶新產(chǎn)品的設(shè)計(jì)，協(xié)助客戶對(duì)制造廠商和產(chǎn)品的質(zhì)量認(rèn)定，并提供相應(yīng)的技術(shù)支持。
客戶導(dǎo)向業(yè)務(wù)，實(shí)施精益物流-消除生產(chǎn)和供應(yīng)過程中的非增值的浪費(fèi)，減少庫存風(fēng)險(xiǎn)，提高配貨效率。
專業(yè)物流平臺(tái)，提供中國-海外生產(chǎn)據(jù)點(diǎn)之間的物流服務(wù)使渠道簡潔化；獨(dú)立的進(jìn)口許可及上海海關(guān)的AA類企業(yè)驗(yàn)證實(shí)現(xiàn)快速通關(guān)。同時(shí)，虹日還獲得ISO9001/14001認(rèn)證；獲得AEO海關(guān)認(rèn)證；有多年復(fù)雜的中國HS代碼管理經(jīng)驗(yàn)；保稅物流園區(qū)VAT（增值稅）返還從而削減成本，不斷地為客戶提供有價(jià)值的、專業(yè)的服務(wù)。
上海華虹科技發(fā)展有限公司
上海華虹科技發(fā)展有限公司成立于2010年，是上海華虹（集團(tuán)）有限公司成員企業(yè)，專業(yè)從事產(chǎn)業(yè)園區(qū)開發(fā)建設(shè)及運(yùn)營管理一體化服務(wù)。公司一直致力于構(gòu)建高品質(zhì)企業(yè)發(fā)展平臺(tái)，推動(dòng)區(qū)域產(chǎn)業(yè)營商環(huán)境提升。
由公司投資建設(shè)的華虹創(chuàng)新園，位于上海自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)金橋片區(qū)，毗鄰中環(huán)，與建設(shè)中的地鐵14號(hào)線金粵路站相距僅100米。
華虹創(chuàng)新園立足“科創(chuàng)+文創(chuàng)”的產(chǎn)業(yè)定位，園區(qū)總建筑面積34萬平方米，目前入駐企業(yè)百余家，已成為上市公司、高科技公司、創(chuàng)新創(chuàng)意公司的聚集地。
同時(shí)，憑借扎實(shí)的園區(qū)運(yùn)營管理經(jīng)驗(yàn)和專業(yè)化的服務(wù)團(tuán)隊(duì)，公司也為位于張江高科技園區(qū)的華虹科技園提供招商、運(yùn)營及物業(yè)管理一體化服務(wù)。
芯路歷程
創(chuàng)業(yè)布局在“909”工程主體生產(chǎn)線建設(shè)運(yùn)營的同時(shí)，華虹根據(jù)信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展的要求和行業(yè)特點(diǎn)，進(jìn)行了產(chǎn)業(yè)鏈布局。
1996
1996年4月9日，“909”工程的主體承擔(dān)單位——上海華虹微電子有限公司正式成立。
1997
1997年6月26日，上海虹日國際電子有限公司成立。
1997年7月17日，上海華虹NEC電子有限公司成立。
1997年12月4日，上海華虹國際（美國）公司成立。
1998
1998年2月18日，北京華虹集成電路設(shè)計(jì)有限公司（簡稱北京華虹）成立。
1998年10月23日，上海華虹微電子有限公司更名為上海華虹（集團(tuán)）有限公司。
1999
1999年1月5日，上海華虹集成電路有限責(zé)任公司（簡稱上海華虹設(shè)計(jì)）、上海華虹計(jì)通智能卡系統(tǒng)有限公司（現(xiàn)已更名為上海華虹計(jì)通智能系統(tǒng)股份有限公司）成立。
1999年7月9日，華虹集團(tuán)通過資產(chǎn)劃撥方式控股上市企業(yè)上海貝嶺股份有限公司。
2000
2000年8月16日，上海信虹投資管理有限公司成立。
2000年11月18日，上海宏力半導(dǎo)體制造有限公司開業(yè)（現(xiàn)華虹三廠）。
2000年12月20日，上海華虹電子進(jìn)出口有限公司（現(xiàn)已更名為上海華虹摯芯電子科技有限公司）成立。
2001
2001年9月12日，上海新鑫投資有限公司成立。
2002
2002年4月8日，上海華杰芯片技術(shù)服務(wù)有限公司成立。
2002年12月19日，上海集成電路研發(fā)中心成立。
壯大升級(jí)“909”主體工程竣工后，華虹努力提升技術(shù)能級(jí)，擴(kuò)大產(chǎn)業(yè)規(guī)模，培養(yǎng)人才隊(duì)伍，企業(yè)綜合實(shí)力不斷增強(qiáng)。
2003
2003年4月，華虹集團(tuán)向美國IDT公司轉(zhuǎn)讓新濤半導(dǎo)體，實(shí)現(xiàn)了國內(nèi)自主投資芯片設(shè)計(jì)企業(yè)的首次對(duì)外轉(zhuǎn)讓。
2003年5月，從日方收回華虹NEC委托經(jīng)營權(quán)，轉(zhuǎn)型Foundy。
2003年12月，華虹NEC開始批量生產(chǎn)第二代居民身份證芯片。
2005
2005年7月，經(jīng)國務(wù)院批準(zhǔn)，華虹集團(tuán)所持華虹NEC股權(quán)劃至華虹國際（開曼）公司，并在香港成立華虹半導(dǎo)體有限公司作為華虹NEC母公司。
2007
2007年5月，上海集成電路研發(fā)中心成為國家級(jí)集成電路研發(fā)中心。
2007年9月，華虹二廠實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)。
2009
2009年3月，華虹集團(tuán)完成戰(zhàn)略重組，成為上海國資控股企業(yè)，主業(yè)聚焦集成電路制造；原所持的上海貝嶺、華虹設(shè)計(jì)、北京華虹、新鑫、信虹等企業(yè)的控股權(quán)轉(zhuǎn)由中國電子信息產(chǎn)業(yè)集團(tuán)承接。
2010
2010年1月，“909”工程升級(jí)改造——華力微電子12英寸項(xiàng)目啟動(dòng)建設(shè)（華虹五廠）。
2010年5月，上海華虹科技發(fā)展有限公司成立。
2010年5-10月，華虹集團(tuán)成功完成2010年上海世博票務(wù)系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)RFID技術(shù)全球范圍內(nèi)展會(huì)領(lǐng)域最大規(guī)模的應(yīng)用。
2012
2012年6月，上海華虹計(jì)通智能系統(tǒng)股份有限公司在深圳交易所創(chuàng)業(yè)板掛牌上市。
2013
2013年1月，華虹NEC和宏力半導(dǎo)體完成合并，成立上海華虹宏力半導(dǎo)體制造有限公司。
2014
2014年10月，華虹半導(dǎo)體紅籌股香港聯(lián)交所掛牌，8英寸制造平臺(tái)實(shí)現(xiàn)上市。
2015
2015年3月， “909”工程升級(jí)改造-上海華力微電子有限公司12英寸集成電路生產(chǎn)線項(xiàng)目竣工驗(yàn)收。
新征程走過二十年“芯”路歷程，華虹布局兩大新制造基地，同時(shí)啟動(dòng)2條12英寸集成電路生產(chǎn)線建設(shè)，新時(shí)代邁向新征程。
2016
2016年11月，啟動(dòng)“909”工程二次升級(jí)改造華力二期12英寸生產(chǎn)線項(xiàng)目（華虹六廠）。
2016年12月，華虹六廠開工。
2017
2017年8月2日，華虹集團(tuán)與無錫市政府簽署建設(shè)研發(fā)和制造基地戰(zhàn)略合作協(xié)議，華虹制造業(yè)務(wù)走出上海。
2017年8月4日，華虹集團(tuán)旗下芯片制造生產(chǎn)線統(tǒng)一命名。
2018
2018年3月2日，華虹無錫項(xiàng)目一期工程開工（華虹七廠）。
2018年5月21日，華虹六廠首臺(tái)工藝設(shè)備搬入。
2018年5月21日，ICRD-ASML全球光刻人才培訓(xùn)中心正式揭牌。
2018年10月18日，華虹六廠12英寸先進(jìn)生產(chǎn)線建成投片。
2019
2019年6月6日，華虹七廠首批光刻機(jī)順利搬入。
2019年9月17日，華虹七廠12 英寸生產(chǎn)線建成投片。
2020
2020年7月29日，華虹集團(tuán)在職員工數(shù)突破10000人。
2021
2021年1月23日，華虹集團(tuán)舉行2021全球供應(yīng)商年會(huì)，近百家集成電路設(shè)備、材料和IP軟件等供應(yīng)商參加大會(huì)。
2021年1月29日，華虹集團(tuán)正式發(fā)布企業(yè)文化體系和全新企業(yè)標(biāo)識(shí)。
參考鏈接：
https://www.huahong.com.cn/

總結(jié)

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